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CIO薄膜材料制备进展

郎野 , 胡礼中 , 长贺秋 , 宁志敏 , 杜建锋 , 高卓

兵器材料科学与工程 doi:33-1331/TJ.20120302.1649.005

随着侦察及动态跟踪技术的飞跃发展和广泛应用,使战场的单向或双向透明度增大.如果不综合运用光电对抗技术,将难以对付红外、激光、雷达等侦察或制导.透明导电薄膜CIO(CdIn2O4)是一种高性能半导体材料,通过调节掺杂浓度,可实现红外波段的高反射性及可见光波段的高透过性.但由于CIO薄膜体系的复杂性和纯CIO薄膜的大面积制备尚没有完全解决,严重阻碍了它在光电对抗、红外防护等方面的实际应用.综述CIO薄膜的多种制备方法以及各自的优缺点,并着重介绍CIO薄膜在抗红外领域的应用.

关键词: CIO薄膜 , 红外 , 透光率 , 高反射

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