李栋
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孟凡平
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薛群基
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黄峰
表面技术
目的：研究Si的掺入对VAlN硬质涂层机械性能的影响行为。方法利用双靶( V50 Al50靶与Si靶)磁控溅射沉积技术,保持V50 Al50靶的功率为一定值,通过控制Si靶的功率,获得Si含量不同的VAlSiN硬质涂层,分析涂层的成分、相组成、硬度及耐磨损性能。结果 Si在涂层中以Si3 N4非晶相存在,Si3 N4起到细化晶粒的作用,少量Si的掺入可使涂层的硬度与耐磨性能得到提升。但当Si大量掺入后,Si3 N4非晶相成为涂层中的主相,导致涂层的硬度与耐磨性能出现下降。结论少量Si的掺入有益于VAlN涂层机械性能的提升。
关键词:
VAlSiN硬质涂层
,
Si掺入
,
机械性能
