李新领
,
周志男
,
孙维连
,
孙铂
,
王会强
,
安广
表面技术
采用中频孪生靶磁控溅射技术,在不锈钢和铝基体上沉积出ZrN/Zr薄膜,表征了薄膜的厚度、色度及表面形貌,研究了氮气流量对ZrN/Zr薄膜的沉积速率和色度的影响.结果表明:随着氮气流量的增加,薄膜的沉积速率先降低,后升高,氮气流量在2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内时对薄膜的沉积速率影响很小;随着氮气流量的变化,薄膜的颜色呈现规律性的变化,在氮气流量2.5×10-10～3.5×10-10 m3/s范围内,可以制备出色彩亮丽的仿金薄膜ZrN,且膜层致密.
关键词:
氮气流量
,
ZrN/Zr薄膜
,
色度
,
沉积速率
,
中频孪生靶
孙维连
,
程越
,
王会强
,
李新领
,
孙铂
材料保护
为寻求真空磁控溅射ZrN膜耐蚀性与其溅射工艺间的规律，在1Cr18Ni9Ti不锈钢表面以不同的工艺参数真空磁控溅射了系列ZrN膜。通过中性盐雾试验确定了不同工艺参数所得ZrN膜的耐蚀性等级。结果表明：ZrN膜耐蚀性随N2流量的增加先增加，但超过15mL／min后，膜的耐蚀性反而下降；ZrN膜耐蚀性随反应温度升高而增强；ZrN膜的耐蚀性随反应时间的增加越来越好，但超过15min后，膜的耐蚀性不再增强；以ZrN膜的耐蚀性为依据，最佳溅射工艺参数为N2流量15mL／min，反应时间15min，反应温度200℃。
关键词:
真空磁控溅射
,
工艺参数
,
ZrN膜层
,
耐蚀性
孙维连
,
李颖
,
赵亚玲
,
王会强
,
孙铂
,
李新领
材料热处理学报
采用非平衡磁控溅射技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢上制备了ZrN薄膜。用SEM、EDS观察并分析了薄膜的表面形貌和成分,用光电轮廓仪测量了膜层厚度。并采用划格法测试不同溅射时间和温度制备的薄膜附着力大小。分析不同溅射时间和温度对薄膜附着力的影响规律。结果表明,通过调节磁控溅射时间和温度可以得到具有一定厚度,成分稳定,结构致密的ZrN薄膜,且溅射时间在1-20 min范围内时间越长薄膜附着力越大,溅射时间超过20 min,附着力趋于稳定;溅射温度在30-90℃范围内温度越高薄膜附着力越大,超过90℃溅射温度继续升高附着力减小。
关键词:
ZrN薄膜
,
附着力
,
溅射时间
,
溅射温度
王会强
,
邢艳秋
,
孙铂
,
孙维连
,
董婷婷
,
蒋辉
材料热处理学报
利用中频反应磁控溅射技术在铝合金表面成功制备TiN薄膜,通过改变氮气流量、溅射时间、靶功率可以在铝合金表面沉积不同颜色、不同附着力、不同硬度的TiN薄膜,显著改善铝合金表面的性能.采用国际照明委员会CIE1976(L*、a*、b*)来标定薄膜颜色,利用CM-2600d分光测色计研究TiN薄膜的反射率曲线、色差及色彩仿真;采用划格法测量附着力大小并评级;采用MH-6显微硬度计测量TiN薄膜硬度.结果表明,当氮气流量为18 mL/min溅射时间为10 min,靶功率为5 kW时,TiN薄膜呈仿金色,薄膜附着力评为0级,薄膜硬度为427.8 HV,TiN薄膜具有优良的性能.
关键词:
中频磁控溅射
,
铝合金
,
TiN薄膜
,
附着力
,
硬度
王会强
,
邢艳秋
,
孙维连
,
董婷婷
,
孙铂
材料热处理学报
采用中频反应磁控溅射技术,以高纯Ti(99.99％)为靶材,以高纯氮气(99.99％)为反应气体,在铝合金基片上沉积Ti/TiN复合纳米膜层.通过XRD、SEM、EDS等分析Ti/TiN复合纳米膜层微观组织和物相结构,研究基片负偏压对Ti/TiN复合纳米薄膜择优取向生长的影响.研究表明,将片加上-150 V负偏压时,Ti/TiN薄膜优先沿(111)面生长;将基片加上-200 V负偏压时,Ti/TiN薄膜优先沿(220)面生长;将基片加上-350 V负偏压时,Ti/TiN薄膜优先沿(200)面生长.继续增大基片负偏压时,由于薄膜中Ar离子浓度大幅增长,高能离子长时间轰击破坏晶粒取向性,使薄膜呈无择优取向.
关键词:
磁控溅射
,
纳米膜层
,
择优取向
,
基片负偏压
孙维连
,
安广
,
孙铂
,
王会强
,
李新领
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2012.02.013
采用中频非平衡磁控溅射技术在镜面不锈钢板上制备了ZrN薄膜,通过改变镀膜时间控制ZrN薄膜的厚度.用色差仪测定了不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值,绘制出不同厚度ZrN薄膜的L*,a*和b*值的变化曲线图,得出膜层厚度对薄膜色度的影响规律:膜层厚度低于63.7 nm时,随着膜层厚度的增加,L*和a*值无变化,b*值呈线性递增,且颜色逐渐趋于金黄色；膜层厚度高于63.7 nm时,随着膜层厚度的增加,薄膜颜色坐标未有明显变化,颜色为稳定的金黄色.
关键词:
沉积速率
,
膜层厚度
,
ZrN薄膜
,
色度
高长刚
,
孙维连
,
孙铂
,
张艺
表面技术
doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.01.023
目的 确定高频淬火后零件出现软点的原因,通过调整工艺参数以获得合格组织.方法 通过直读光谱测试工件化学成分,采用体视显微镜、金相显微镜和扫描电镜观察试样的宏观与微观组织,分析工件的淬火层深度和显微组织形态.通过能谱仪测试样品淬火组织的成分差异.梳理生产过程,确定淬火零件软点形成的原因.结果 通过扫描电镜配置的能谱仪测试发现,产生软点的样品黑色区域马氏体的碳含量较高,白色区域马氏体碳含量较低;未产生软点的样品黑区和白区马氏体的碳含量差别不大.结论 高频淬火零件事先未经调质处理,碳含量分布不匀,高频淬火时间短,碳原子没有得到充分扩散,淬火后的零件在组织中形成了高碳和低碳马氏体两种结构,导致淬火后零件出现软点.
关键词:
缺陷
,
高频淬火
,
淬火时间
,
显微组织
孙铂
,
孙维连
,
李颖
材料热处理学报
观察并研究了10钢管冷制后表面粗糙且存在翘皮缺陷的现象与原因.采用直读光谱仪检测材料的化学成分,采用扫描电镜、光学显微镜检测原材料及钢管的微观组织形貌,发现原材料组织中铁素体晶界处存在杂质物,采用能谱仪分析晶界处相成分确定其为三次渗碳体相.结果表明,10钢原材料铁素体晶界处的三次渗碳体相沿晶分布且脆性较大,是导致钢材在变形过程中表层沿晶开裂的主要原因.经试验可通过正火处理消除其影响,进而避免钢管表层缺陷产生.
关键词:
冷轧
,
钢管
,
翘皮
,
微裂纹
