宋广平
,
孙跃
,
赫晓东
,
李明伟
,
赵轶杰
稀有金属材料与工程
采用电子束物理气相沉积技术(Electron Beam Physical Vapor Disposition, EB-PVD)通过连续蒸镀成功制备陶瓷ZrO_2涂层和以镍基合金为基体的一体化薄板材料.结果表明,ZrO_2涂层致密,具有柱状晶组织,无明显的织构存在.涂层与基体材料间有明显的成分连续梯度变化区域.抗热震性能测试结果显示,一体化材料的ZrO_2梯度涂层能明显延缓热震裂纹的形成和扩展,具有良好的抗热震性能.
关键词:
电子束物理气相沉积
,
梯度涂层
,
微观组织
,
抗热震性能
孟彬
,
赫晓东
,
孙跃
,
李明伟
稀有金属材料与工程
采用大功率EB-PVD工艺在NiO-YSZ多孔基体上制备了20 μm厚的YSZ电解质涂层材料.SEM分析表明制备态涂层表面由1 μm～10 μm的晶粒组成并含有少量微米级的孔隙,涂层材料的断面SEM表明涂层致密并和基体结合良好.EPMA分析显示初始蒸发阶段制备的涂层材料内Y,O元素分布均匀,Zr元素的分布存在一个梯度.XRD分析表明:涂层为典型的立方相结构并表现出择优取向特征.
关键词:
电子束物理气相沉积
,
YSZ涂层
,
显微结构
李伟力
,
孙跃
,
郑馥
,
费维栋
金属学报
利用原子力显微镜和掠入射X射线散射技术研究了6061Al合金等离子体离子注氮表面的粗糙度和标度行为.研究结果指出,注氮初期,表面粗糙度逐渐下降;当离子注入时间较长时,表面粗糙度随注入时间的延长而逐渐增加;在远离平衡的条件下,材料的形成机制可通过分形理论进行研究.长时间离子注氮表面具有明显的分形特征,利用所得到的静态标度指数、生长指数和动态标度指数讨论了6061 Al合金离子注氮表面的标度行为.
关键词:
6061Al合金
,
null
田晶泽
,
夏立芳
,
马欣新
,
孙跃
,
孙明仁
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2000.02.004
用电子束蒸发纯硼,在硅片上沉积不同厚度的硼膜,然后用等离子体基离子注入(PBⅡ)技术在硼膜上注入氮以形成氮化硼(BN).用XPS分析膜的成分深度分布及化学价态;用傅里叶变换红外(FTIR)透射谱分析膜的结构.氮在膜中呈类似高斯分布,随着注入电压增大, 膜的N/B比增大且影响氮在膜中的分布,在较高的注入电压时,膜基间产生界面混合.对XPS B1s谱进行Gauss-Lorentz拟合表明:硼在膜中以BN及游离态两种形式存在.FTIR分析结果表明:当注入电压较低,时间较短时,膜中存在非晶态形式的氮化硼(a-BN);增大注入电压及注入时间,向六方形式的氮化硼(h-BN)转化;原始硼膜的厚度小有助于h-BN的形成.
关键词:
等离子体基离子注入
,
氮化硼
,
傅里叶变换红外谱
马李
,
孙跃
,
赫晓东
,
李垚
材料导报
介绍了包括热障涂层、高温合金薄板、金属/陶瓷及金属/金属间化合物微叠层薄板等金属热防护系统结构材料的特点,并简要介绍了电子束物理气相沉积设备的工作原理、结构及其工艺特点.着重评述了利用该工艺制备多种体系高温结构材料的研究现状,最后对未来的发展趋势作出了客观的评价与展望.
关键词:
会属热防护系统
,
高温结构材料
,
电子束物理气相沉积
,
微叠层材料
滕敏
,
孙跃
,
张景宝
,
赫晓东
稀有金属材料与工程
采用电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术在不锈钢基板上沉积ZrO2涂层.研究基板温度对涂层微观组织和残余应力的影响.结果表明:沉积的涂层均为t-ZrO2结构,涂层表面平整致密;随着基板温度的升高,涂层表面颗粒逐渐长大,表面粗糙度增大;涂层残余应力也随着基板温度的升高而增加,当基板温度为1000 ℃时,涂层残余应力的增量最大,ZrO2涂层的残余应力主要是由于涂层与基板热膨胀系数差别而产生的热应力引起.
关键词:
电子束物理气相沉积
,
涂层
,
微观组织
,
残余应力
夏立芳
,
王佐诚
,
孙跃
,
马欣新
,
陈士芳
材料研究学报
用X射线光电子能谱(XPS)剥层分析方法,研究AIN薄膜在大气中加热时的氧化性能.结果表明,常温时AIN薄膜稳定;在700℃加热时,Al2O3膜开始增厚.AIN被氧化;加热温度愈高,AIN被氧化得愈剧烈.
关键词:
AIN薄膜
,
null
杨帆
,
孙跃
,
李伟力
,
费维栋
功能材料
利用RF磁控溅射法制备了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)铁电薄膜,利用X射线衍射(XRD)法研究了薄膜的相组成及溅射工艺参数对薄膜织构的影响.结果表明,在小靶基距时,过高溅射功率不利于获得纯钙钛矿相的PZT铁电薄膜.溅射功率及溅射气压影响PZT薄膜的织构及其织构散漫度,提高溅射气压及溅射功率,(111)织构漫散度随之提高.在靶基距为80mm时,选择150w、0.7Pa的溅射工艺可获得具有最佳(100)织构的PZT薄膜.
关键词:
磁控溅射
,
Pb(Zr,Ti)O3薄膜
,
织构
李晓
,
宋广平
,
孙跃
,
吴化平
,
张林
机械工程材料
在空气条件下对电子束物理气相沉积制备的Ni-19.3Cr-20Fe-0.8A1高温合金箔于800℃和900 ℃恒温氧化100 h,通过扫描电子显微镜及附带的能谱仪、X射线衍射仪对氧化后试样的物相组成及氧化行为进行了研究.结果表明:合金箔在800℃恒温氧化的动力学曲线遵守三次方规律,100 h的平均氧化速率为1.7×10-10 g·m-2·h-1,氧化膜的外层为致密的Cr2O3,内层为准连续的Al2O3;在900℃恒温氧化的动力学曲线遵守抛物线规律,100 h平均氧化速率为5.2×10-10g·m-2·h-1,氧化膜由致密的Cr2O3组成,内部伴有少量的内氧化物Al2O3.
关键词:
恒温氧化行为
,
高温合金箔
,
电子束物理气相沉积
