孙裔
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刁训刚
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杨盟
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武哲
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舒远杰
稀有金属材料与工程
利用直流磁控溅射方法在柔性聚酯薄膜衬底上制备了氧化铟锡(ITO)透明导电薄膜,采用X射线衍射、紫外-可见分光光度计、四探针电阻测量仪等测试手段对薄膜样品进行表征,研究了氧含量、薄膜厚度、衬底负偏压对ITO薄膜的晶体结构和光电性能的影响,优化了柔性衬底ITO薄膜的制备工艺条件.制得样品的最佳可见光平均透过率为85.6%,方块电阻为6Ω/□.
关键词:
直流磁控溅射
,
柔性衬底
,
ITO透明导电薄膜
陈顺利
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刁训刚
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孙裔
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张俊英
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王天民
材料导报
利用静电自组装工艺制备了结构有序的TiO2/PSS纳米多层膜,并在不同工艺条件下对薄膜进行热处理.利用UV-Vis吸收光谱、XRD、α台阶膜厚测试仪等手段对薄膜的性能进行了表征,研究了工艺条件对薄膜光催化性能的影响.结果表明:TiO2/PSS纳米多层膜在450℃氨气气氛中热处理后具有很好的光催化性能,薄膜的响应深度约为120nm,热处理过程中氨气流量小所得薄膜光催化性能佳.
关键词:
静电自组装
,
二氧化钛薄膜
,
光催化性能
杨盟
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刁训刚
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孙裔
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刘海鹰
,
武哲
,
舒远杰
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.022
利用直流磁控溅射技术室温下在柔性聚酯薄膜衬底上制备了ITO薄膜,将ITO薄膜与有机玻璃和空白聚酯薄膜等介质材料组合成复合结构,最终得到吸波能力较强的透明吸波体.该吸波体在Ku带(12～18GHz)范围波段衰减低于-10dB,峰值超过-20dB,且在可见光区透光率达到68%.
关键词:
直流磁控溅射
,
ITO薄膜
,
透明吸波体
