黄煦
,
孙玄
,
王亚洲
,
冯庆荣
低温物理学报
用混合物理化学气相沉积法(Hybrid physical-chemical vapor deposition简称为HPCVD)制备了MgB_2超薄膜.在背景气体压强、B_2H_6的流量和成膜时间等条件一定的情况下,当氢气的流量从200到400sccm范围内变化时,观察了其对成膜的影响.结果显示,随氢...
关键词:
MgB_2超薄膜
,
HPCVD法
,
氢气流量
姚丹
,
谭腾
,
冯思敏
,
黄煦
,
孙玄
,
冯庆荣
低温物理学报
用混合物理化学气相沉积法(hybrid physics-chemical vapor deposition简称为HPCVD)在Nb衬底上生原位制备了平均厚度是1.5μm的MgB2多晶膜样品,其起始超导转变温度Tc(onset)=39.37K,转变宽度△Tc=0.45K.样品由大量六边型片状晶粒组成....
关键词:
混合物理化学气相沉积法
,
Nb衬底
,
MgB2膜
,
韧性
