材料期刊网

Ti-N扩散障碍膜的组织结构及高温热稳定性

王家军 , 孙榆芳 , 叶锐曾

中国腐蚀与防护学报

研究了多弧离子镀Ｔｉ－Ｎ扩散障碍膜的表面形貌、组织结构及高温热稳定性．发现Ｔｉ－Ｎ膜表面存在大量颗粒物；颗粒物对Ｔｉ－Ｎ膜外磁控溅射涂覆的ＭＣｒＡＩＸ包覆型涂层的组织形态及性能有较大影响．Ｘ射线分析表明：Ｔｉ－Ｎ镀膜由δ－ＴｉＮ、ε－ＴｉＤＮ、α－Ｔｉ等多相组成；δ－ＴｉＮ呈明显｛１１１｝择优取向，...

关键词: Ｔｉ－Ｎ镀膜 , Preferred orientation , High temperature stability