赵有文
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段满龙
,
孙文荣
,
杨子祥
,
焦景华
,
赵建群
,
曹慧梅
,
吕旭如
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2003.05.012
通过对高压液封直拉法单晶生长过程的热传输和影响熔体温度起伏的几个关键因素的分析,研究适合生长(100)晶向磷化铟单晶的热场系统,有效地降低了孪晶产生的几率,重复地生长出了整锭掺硫和掺铁的、直径为50mm和76mm的(100)磷化铟单晶.测试结果表明我们生长(100)磷化铟单晶的热场在生长过程中使晶锭保持较为平坦的固液界面,可稳定地获得具有低的缺陷密度和良好的电学均匀性的高质量磷化铟单晶材料.
关键词:
磷化铟(InP)
,
液封直拉法(LEC)
,
孪晶
,
均匀性
,
固液界面
赵有文
,
董志远
,
段满龙
,
孙文荣
,
杨子祥
,
吕旭如
,
王应利
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2004.04.015
在不同的化学配比条件下制备了半绝缘磷化铟材料,其中包括配比和富铟熔体中的铁掺杂以及磷气氛和磷化铁气氛下高温退火非掺杂晶片.在这些半绝缘磷化铟材料中检测到了与非化学配比有关的深能级缺陷.通过对大量的原生掺铁和非掺退火半绝缘磷化铟材料中的缺陷的研究,发现原生深能级缺陷与材料的电学参数质量密切相关.迁移率低、热稳定性差的掺铁半绝缘磷化铟材料中有大量的能级位于0.1～0.4eV之间的缺陷.高温退火非掺磷化铟抑制了这些缺陷的产生,获得了迁移率高、均匀性好的高质量半绝缘材料.根据这些结果,我们提出了一种通过控制化学配比制备高质量半绝缘磷化铟材料的方法.
关键词:
磷化铟
,
半绝缘
,
缺陷
