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退火气氛和镧掺杂浓度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响

段文芳 , 赵小如 , 段利兵 , 白晓军 , 史小龙 , 朱宇瑾 , 孙慧楠

人工晶体学报

采用溶胶-凝胶浸渍提拉法在玻璃衬底上制备Zn1-xLaxO(x=0~0.04)(LZO)薄膜,分别在空气、氮气和氩气条件下进行退火,探讨了不同退火气氛和不同镧掺杂浓度对其结构和光学性能的影响.XRD和SEM结果表明:氩气退火条件下ZnO的晶粒尺寸比空气退火条件下和氮气退火条件下的晶粒尺寸略小,且ZnO晶粒的尺寸随着镧掺杂浓度的增加而减小.薄膜光致发光(PL)测量表明:紫光发光带中心在氩气下退火相对于空气下退火存在略微的蓝移,而在氮气下退火则相反;ZnO紫光发光带的位置随着镧掺杂浓度的增加先红移而后蓝移.禁带宽度在镧掺杂量为2%时达到最小值,说明镧可以有效地调节ZnO的禁带宽度.

关键词: 溶胶-凝胶法 , ZnO薄膜 , 镧掺杂 , 退火 , 禁带宽度

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