张志海
,
史成武
,
孙嵩泉
,
吴玉程
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.020
采用喷雾热解法,以四氯化锡和氟化铵为原料、喷瓶为雾化装置,在载玻片上制得氟掺杂二氧化锡(fTO)透明导电薄膜.运用XRD、SEM、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪分别对薄膜进行了表征.研究了喷涂次数、衬底温度、前体浓度、掺杂浓度和醇水比对FTO薄膜光电性能的影响.结果表明,当衬底温度为500℃,SnCl4·5H2O浓度为0.81 mol/L,NH4F浓度为0.1 mol/L,醇水比为8:2,喷涂100次时,薄膜的光电性能较好,其方块电阻为13Ω/口,平均透光率为79%.
关键词:
喷雾热解
,
二氧化锡
,
氟掺杂
,
导电玻璃
