孙小斌
,
徐征
,
刘敬伟
,
万丽芳
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王刚
,
王庆江
,
张凯亮
,
张丽蕾
,
马丽
,
张福俊
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2007.05.020
色彩管理技术是实现色彩在各种设备之间传输和再现一致性的重要技术,它已经成为操作系统的一个重要组成部分.文章综述了基于ICC标准的色彩管理技术的原理,介绍了LED背光液晶显示器特征化的实现方法及将来的研究方向.
关键词:
LED背光
,
液晶显示器
,
ICC标准
,
色彩管理模块
,
标准颜色空间
袁广才
,
徐征
,
张福俊
,
王勇
,
许洪华
,
孙小斌
功能材料
采用射频反应磁控溅射的方法,以ITO(铟锡氧化物)玻璃为衬底,在Al2O3/AlN复合栅极绝缘层上沉积有源层ZnO薄膜,并以Al作为透明薄膜晶体管器件源极和漏极,通过XRD、透射光谱研究了透明薄膜晶体管的有源层ZnO的结晶情况以及对器件在可见光范围内的透过特性的影响,得出以Al2O3/AlN为复合缓冲层薄膜晶体管,在400℃温度下退火处理后,ZnO有源层有较好的c-axis(002)择优取向,器件在可见光的范围内整体透过率在88%以上,从而实现了ZnO-TFT器件在可见光范围内的透明.
关键词:
ZnO薄膜
,
反应磁控溅射
,
透射率
,
透明薄膜晶体管
袁广才
,
徐征
,
张福俊
,
王勇
,
许洪华
,
孙小斌
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2006.05.022
采用磁控溅射和电子束热蒸发方法制备了ZnO-TTFT(ZnO基透明薄膜晶体管)器件,通过XRD和透射光谱对两种不同制作方法的样品性质进行分析比较,得出采用溅射法制备的ZnO-TTFT器件有源层的ZnO薄膜从结晶化程度、表面粗糙度及透过率都较采用电子束蒸发制得的ZnO薄膜优异,制得器件的有源层有较好的c-axis(002)方向择优取向,器件的平均透过率在85 %以上.研究了退火处理对器件性能的影响,发现快速热退火有利于改善薄膜的晶化,降低缺陷态密度,提高器件的透光性.
关键词:
薄膜晶体管
,
ZnO薄膜
,
透过率
,
快速热退火
