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多孔硅在传感器中的应用研究进展?

孙兰兰 , 肖巍 , 刘煌 , 张艳华 , 涂铭旌

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2015.013.011

多孔硅由于其制备方法简单、拥有极大的内表面积、广泛的孔径尺寸、可控的表面改性以及与传统硅集成技术兼容等特点，成为传感器件中理想的敏感材料。简述了多孔硅电化学传感器和光学传感器的研究进展，包括多孔硅湿度传感器、多孔硅气敏传感器、多孔硅有机蒸气传感器、多孔硅生物传感器。最后指出了阻碍多孔硅基传感器商业化的影响因素，并展望了多孔硅传感器的发展方向。

关键词: 多孔硅 , 传感器 , 内表面积