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孙元征 , 林晓辉 , 陈云飞
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.009
在Fokker_P1anck方程的基础上,对超短脉冲激光烧蚀熔融硅的机理进行分析研究,建立了雪崩电离、多光子吸收电离导致的熔融硅烧蚀机理的数学模型.其计算得出的激光能量密度和临界烧蚀阀值与实验结果很好的吻合,定量解释了超短脉冲激光对熔融硅烧蚀损伤微观过程的影响.
关键词: 超短脉冲激光 , 烧蚀 , 雪崩电离 , 多光子吸收电离
