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非磁性元素Ca掺杂AIN稀磁半导体纳米棒阵列

娄阳

材料导报

采用无催化剂辅助化学气相沉积法,以无水AlCl3、NH3气和无水CaCl2分别作为Al源、N源和Ca源,首次获得Ca掺杂AlN纳米棒阵列.纳米棒的长度约为几百纳米,直径为200～500nm.能谱(EDS)证明Ca掺杂的原子分数约为4.4％;光致发光光谱(PL)表明N空位引起在359nm的发光中心；在磁性能测试中观察到明晰的磁滞回线,表明样品具有室温铁磁性.

关键词: 无催化剂辅助化学气相沉积法 , 纳米棒阵列 , Ca掺杂AlN , 室温铁磁性