唐重林
,
柴常春
,
娄利飞
,
楼晓强
材料导报
大量研究结果和实验数据显示,铁电材料与器件具有极强的抗辐射能力,在军事和空间领域具有广阔的应用前景,因此铁电材料及其器件的抗辐射能力与机理研究日益受到关注.首先综述了国内外关于铁电材料的核辐射效应研究最新进展,在此基础上对其核辐射效应微观机理进行了分析和讨论,指出了铁电材料在抗辐射领域的发展趋势和研究方向.
关键词:
铁电材料
,
核辐射
,
位移效应
,
电离效应
娄利飞
,
杨银堂
,
李跃进
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.06.018
对硅基锆钛酸铅(PZT)压电薄膜微开关进行了结构和版图设计,根据MEMS加工工艺和标准硅基IC工艺的特点,获得了硅基PZT压电薄膜微悬臂梁结构系统工艺流程中的关键工艺技术和典型工艺条件,对多孔硅的选择性生长进行了较为详细的实验研究,最后成功的制备出硅基PZT压电薄膜微开关样品,这对集成化芯片系统的进一步发展打下了必要的良好的实验基础.
关键词:
锆钛酸铅(PZT)
,
压电薄膜
,
微开关
,
多孔硅
