杨萍
,
张晨贵
,
梁莹林
,
刘有海
,
阳红
,
张连新
,
栾春红
,
姜晶
,
王超
人工晶体学报
KDP晶体作为优质的非线性光学材料,具有脆性高、对温度敏感等特性,在单点金刚石切削(SPDT)超精密加工中,微小的温度和应力变化有可能对晶体造成损伤,但是一直未有相关实验报道.本文采用红外热成像仪对SPDT加工过程进行监测,结合Raman光谱技术,研究KDP晶体在SPDT加工前后表面温度和应力的分布变化.大尺寸KDP晶体经过快速微区切削后,在给定的切削工艺条件下,测量出切削部分最高瞬态温度比附近未切削部分高出将近8℃.通过Raman测量,显示切削后晶体表面存在残余拉应力.结合热力耦合模拟仿真,进一步分析了SPDT加工过程动态切削温度对晶体质量的影响,为优化加工参数提供依据.
关键词:
KDP晶体
,
温度原位测量
,
Raman光谱
,
模拟仿真
王刚
,
李威
,
李平
,
李祖雄
,
范雪
,
姜晶
材料导报
使用CF4/Ar高密度感应耦合等离子体(ICP)对磁控溅射法制得的铌酸锌铋(BZN)薄膜进行了干法刻蚀工艺研究.分析了BZN薄膜的刻蚀速率随工艺气体流量比、总流量和工作压强的改变而出现极大值的原因,展示了BZN薄膜的刻蚀速率随ICP功率的增大而线性增加的趋势.研究结果表明,使用CF4/Ar感应耦合等离子体对BZN薄膜进行刻蚀的机理为物理辅助的化学反应刻蚀.BZN薄膜的最佳刻蚀工艺参数为CF4/Ar流量比3/2、总流量25sccm、工作压强1.33Pa、ICP功率800W,使用此参数对BZN薄膜进行刻蚀,最大刻蚀速率为26nm/min,刻蚀后薄膜边缘齐整、表面光滑、形状完整.
关键词:
BZN薄膜
,
感应耦合等离子体
,
干法刻蚀
,
刻蚀速率
,
表面形貌
姜晶
,
吴志明
,
王涛
,
郭正宇
,
于贺
,
蒋亚东
材料导报
黑硅是一种新型的硅材料,具有优异的光电性质.概括了Eric Mazur以及其他研究者近年来关于黑硅的研究工作,详细介绍了黑硅的制备与产生机理以及黑硅的吸收、发光、场发射与光谱响应等性质,并指出了黑硅在红外探测器、太阳能电池以及平板显示器等领域的重要潜在应用价值.
关键词:
黑硅
,
飞秒激光器
,
微构造
,
光电性质
王刚
,
李平
,
李威
,
张国俊
,
谢小东
,
姜晶
材料导报
综述了ONO(氧化物-氮化物-氧化物)反熔丝、非晶硅(a-Si)反熔丝和栅氧化层反熔丝的制作工艺、性能参数及其优缺点,介绍了反熔丝器件包括反熔丝可编程只读存储器(PROM)和反熔丝现场可编程门阵列(FPGA)在器件应用、存储容量、可用门数、工作电压和抗辐射性能等方面的研究进展,指出了反熔丝以及反熔丝器件的4个主要发展趋势,即工艺兼容、高密度、有机/柔性和新材料.
关键词:
反熔丝
,
氧化物-氮化物-氧化物
,
非晶硅
,
栅氧化层
,
反熔丝PROM
,
反熔丝FPGA
梁利花
,
王佳
,
姜晶
腐蚀学报（英文）
采用Kelvin探头和体视显微镜观察技术, 研究了微液滴在金属表面液膜形成过程中的作用. 金属表面电位分布特征和显微镜在线观察的结果表明, 微液滴可以增强金属表面的润湿能力, 促进液膜在金属表面的形成和扩展, 并能促使金属表面不同部位的液膜的扩展和交联, 形成大面积连续液膜, 从而促进大气腐蚀过程的快速发展.
关键词:
微液滴
,
atmospheric corrosion
,
extending of thin electrolyte layer
,
potential distribution
梁利花
,
王佳
,
姜晶
腐蚀学报（英文）
采用Kelvin探头和体视显微镜观察技术,研究了微液滴在金属表面液膜形成过程中的作用.金属表面电位分布特征和显微镜在线观察的结果表明,微液滴可以增强金属表面的润湿能力,促进液膜在金属表面的形成和扩展,并能促使金属表面不同部位的液膜的扩展和交联,形成大面积连续液膜,从而促进大气腐蚀过程的快速发展.
关键词:
微液滴
,
大气腐蚀
,
液膜扩展
,
电位分布
