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溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜的工艺研究

李茜琪 , 姚雪亮 , 王海风

材料导报

以正硅酸乙酯为前驱体、乙醇为溶剂,通过酸催化,采用溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜,通过正交实验确定最佳工艺方案,并讨论影响SiO2薄膜结构和性质的主要因素,研究了最佳配方siO2薄膜的表面形貌、光学性能和力学性能等.结果表明,影响光学性能的主要因素是正硅酸乙酯和水;影响显微硬度的主要因素是乙醇;膜层结构为非晶态;薄膜具有增透效果并可提高试样的抗弯强度.

关键词: 溶胶-凝胶法 , 透过率 , 反射率 , 显微硬度 , 抗弯强度