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流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备

王勇 , 沃银花 , 姚奎鸿 , 祝洪良 , 王耐艳

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2006.01.007

采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相.讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素,并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数.

关键词: 氮化硅(SiN) , 硅烷 , 流态床 , 化学气相沉积(CVD)

钢铁表面氮化硅薄膜生成技术

沃银花 , 杜平凡 , 姚奎鸿

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2005.02.003

氮化硅(Si3N4)因其优异的性能可能在钢铁表面的改性技术中获得重要应用,钢铁表面复合氮化硅层的生成和应用已成为当今材料科学研究开发的热点之一.综述了钢铁表面形成氮化硅薄膜的基本过程,各种制备方法、特点及影响因素.

关键词: 钢铁表面改性 , 氮化硅薄膜 , 化学气相沉积 , 扩散层

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