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VHF-PECVD法制备氢化硅薄膜及单结电池

吴志猛 , 雷青松 , 赵颖 , 耿新华 , 奚建平

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.029

利用VHF-PECVD分解硅烷和氢气的混合气体来制备本征微晶硅薄膜.运用拉曼散射和X射线衍射研究了不同硅烷浓度对薄膜的影响.随着硅烷浓度的增加,沉积速率和光敏性增加而晶化率下降.将优化的本征材料应用到pin电池中,得到本征层厚度约为1μm的微晶电池,效率达5.87%.

关键词: 微晶硅 , 硅烷浓度 , 太阳电池