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多晶硅化学气相沉积反应的三维数值模拟

夏小霞 , 周乃君 , 王志奇

人工晶体学报

建立了多晶硅化学气相沉积反应的三维模型,同时考虑质量、能量和动量传递,利用CFD软件对炉内的流动、传热和化学反应过程进行了数值模拟,并分析了硅沉积速率、SiHC13转化率、硅产率以及单位能耗随H2摩尔分数的变化规律.结果表明:计算结果与文献数据吻合较好;随着硅棒高度的增加,硅沉积速率不断增大;最佳的进气H2摩尔分数范围为0.8 ～0.85.

关键词: 多晶硅 , 化学气相沉积 , 数值模拟 , 沉积速率