鞠洪博
,
贺盛
,
陈彤
,
陈敏
,
郭丽萍
,
喻利花
,
许俊华
材料开发与应用
采用射频磁控溅射法在功率用半导体散热片Mo上制备了不同本底真空度的Ru薄膜,利用能谱仪、X射线衍射仪、纳米划痕仪及电化学工作站等仪器研究了本底真空度对Ru薄膜化学成分、微观结构、膜基结合力及耐蚀性能的影响.结果表明,随着本底真空度的降低,Ru薄膜中氧含量逐渐降低,当本底真空度为6.0×10-4 Pa...
关键词:
射频磁控溅射
,
Ru薄膜
,
本底真空度
,
耐蚀性能
喻利花
,
董松涛
,
董师润
,
许俊华
材料热处理学报
采用射频磁控溅射方法制备了AlN、Si2N4单层薄膜和调制比为1的不同调制周期的AlN/Si3N4纳米多层膜.薄膜采用X射线衍射仪、X射线反射仪、高分辨率透射电子显微镜、原子力显微镜和纳米压痕仪进行表征.结果表明:AlN是多晶,Si3 N4呈非晶,多层膜的界面非常尖锐;单层膜及多层膜均呈岛状生长,多...
关键词:
AlN/Si3N4纳米多层膜
,
显微结构
,
表面粗糙度
,
硬度
喻利花
,
农尚斌
,
董师润
,
许俊华
机械工程材料
用射频磁控溅射法在硅基片上制备了AIN、BN单层膜及AIN/BN纳米多层膜,采用X射线衍射仪、傅立叶变换红外光谱仪、小角度X射线反射仪、高分辨率透射电子显微镜和原子力显微镜等对其进行了表征.结果表明:AIN/BN多层膜具有(103)择优取向,并且当AIN层厚固定时,随着BN层厚的增加,(103)择优...
关键词:
AIN/w-BN纳米多层膜
,
射频磁控溅射
,
显微结构
赵淑芳
,
喻利花
,
马冰洋
,
许俊华
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2014.12.004
采用多靶反应磁控溅射技术制备一系列不同Ti含量的W-Ti-N复合膜.采用X射线衍射仪、扫描电镜、纳米压痕仪等检测方法对薄膜的微结构和力学性能进行表征.采用UMT-2功能摩擦试验机,在室温、大气环境、无润滑的条件下对W-Ti-N复合膜的摩擦性能进行评价,同时,探讨薄膜的致硬机理和摩擦机制.结果表明:T...
关键词:
磁控溅射
,
W-Ti-N复合膜
,
微结构
,
力学性能
,
摩擦性能
董松涛
,
喻利花
,
董师润
,
许俊华
机械工程材料
通过磁控共溅射方法制备了一系列不同硅含量的锆-硅-氮复合薄膜;采用能谱仪、X射线衍射仪、扫描电镜和微力学探针等对复合薄膜进行了表征;研究了薄膜中硅、锆原子比对复合薄膜的显微组织、高温抗氧化性能和力学性能的影响.结果表明:随着硅含量的增加,复合薄膜的ZrN(111)、(220)晶面衍射峰逐渐消失,呈现...
关键词:
锆-硅-氮复合薄膜
,
显微组织
,
抗氧化性能
,
力学性能
许俊华
,
薛雅平
,
曹峻
,
喻利花
稀有金属材料与工程
采用多靶磁控溅射技术,根据不同Mo靶功率制备一系列不同Mo含量的TaMoN复合膜.利用X射线衍射仪、纳米压痕仪、高温摩擦磨损仪、扫描电子显微镜及其配套的能谱仪研究复合膜的相组成、力学性能、室温和高温下的摩擦性能.结果表明,TaMoN复合膜的微结构是由面心立方、密排六方与底心斜方组成的多相结构;TaM...
关键词:
TaMoN复合膜
,
磁控溅射
,
微结构
,
力学性能
,
摩擦性能
汪蕾
,
董师润
,
尤建飞
,
喻利花
,
李学梅
,
许俊华
材料热处理学报
采用非平衡反应磁控溅射的方法在Si(100)基片上沉积Ti(C,N)复合膜和不同调制周期、调制比的TiN/Ti(C,N)纳米多层薄膜.薄膜的微观结构和力学性能采用X射线衍射仪(XRD)、显微硬度计进行表征.结果表明,Ti(C,N)复合膜的微观结构和力学性能与掺入C的含量有关;TiN/Ti(C,N)纳...
关键词:
Ti(C,N)复合膜
,
TiN/Ti(C,N)纳米多层膜
,
显微硬度
,
组织
,
超硬效应
葛云科
,
顾晓波
,
喻利花
,
许俊华
材料开发与应用
doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2008.01.006
采用射频磁控反应溅射在单晶Si(100)上沉积了一系列不同Al含量的(Zr,Al)N薄膜,利用能谱仪(EDS)、X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)和微力学探针对薄膜的成分、结构、力学和抗氧化性能进行了表征.研究结果表明,当Al含量在0%～20.31%(原子分数)之间时,薄膜是B1型(NaCl...
关键词:
(Zr,Al)N薄膜
,
射频磁控反应溅射
,
结构变化
,
力学性能
,
抗氧化性
喻利花
,
薛安俊
,
董松涛
,
许俊华
材料热处理学报
采用多靶反应磁控溅射技术制备了一系列不同Si含量的Ti-Al-Si-N复合膜.采用能谱仪、X射线衍射仪、三维轮廓仪、原子力显微镜和显微硬度仪对薄膜进行表征,研究了Si含量对Ti-Al-Si-N复合膜微结构和力学性能的影响.结果表明:用Ti0.33Al0.67合金靶制备的Ti-Al-N复合膜呈双相共存...
关键词:
Ti-Al-Si-N
,
磁控溅射
,
微结构
,
显微硬度
