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徐春祥 , 薛清华 , 钟嫄 , 唐洁影 , 崔一平
功能材料
采用电化学方法在硫酸和草酸溶液中制备了具有纳米结构的多孔氧化铝.在紫外光激发下,草酸中得到的多孔氧化铝可发射出明亮的蓝光,而硫酸中制得的样品几乎不发光.通过紫外可见吸收光谱、激发光谱、傅里叶变换红外光谱及X射线光电子能谱等分析,这种发光被归结于样品中缺陷的存在,而不同的电解液对缺陷的形成有很大影响.
关键词: 纳米多孔氧化铝 , 蓝色发光 , 缺陷 , FTIR , XPS
兰之康 , 唐洁影
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.020
多晶硅双端固支梁是MEMS器件中最常用的组件之一,它的疲劳特性直接关系到器件的寿命及安全性.本文针对多晶硅微梁结构进行疲劳可靠性测试,在对其施加循环静电激励后,测试了它的频率变化特性.并分析了频率向高频移动的原因,从而说明了梁的疲劳特性.
关键词: MEMS , 疲劳 , 梁 , 谐振频率
吕劲楠 , 唐洁影
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.023
由于MEMS器件的可靠性成为MEMS产品商业化过程中一个重要问题,而冲击断裂是导致器件失效的一个重要原因.本文主要研究多晶硅微悬臂梁在冲击条件下的可靠性,文中阐述了断裂失效机理,并使用应力一强度模型对可靠度进行建模.通过实验统计在各种加速度冲击下的可靠度,并将实验实测值与理论值进行对比.
关键词: MEMS , 冲击失效 , 可靠度
