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纳米复合膜的研究进展

唐旭晟 , 高诚辉

材料保护 doi:10.3969/j.issn.1001-1560.2003.05.007

纳米复合膜是当前表面工程领域的发展前沿,综述了纳米复合膜的研究现状及进展,分析了纳米复合膜的特点、制备工艺及用途,对纳米复合膜的发展趋势提出了一些看法.

关键词: 纳米复合膜 , 磁控溅射 , 硬度 , 摩擦学性能