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多弧离子镀制备硬质梯度薄膜技术

晏鲜梅 , 熊惟皓 , 郑立允 , 周风云

材料导报

介绍了多弧离子镀在金属陶瓷表面沉积硬质梯度薄膜的技术,用X射线衍射法对表面形成的薄膜进行了物相分析,并对材料的金相显微组织、显微硬度、抗弯强度以及膜与基体的结合力进行了测试和分析.结果表明:多弧离子镀处理能在金属陶瓷表面形成硬质梯度薄膜,膜与基体的结合力良好,表面硬度大大提高,而材料的抗弯强度却没有发生变化.

关键词: 多弧离子镀 , 金属陶瓷 , 梯度薄膜 , TiN