饶瑞
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徐重阳
,
王长安
,
赵伯芳
,
周雪梅
,
曾祥斌
功能材料
介绍了一种非晶硅薄膜低温晶化的新工艺--金属诱导非晶硅薄膜低温晶化.在非晶硅膜上蒸镀金属铝薄膜,而后于氮气保护中退火,实现了非晶硅薄膜的低温(＜600℃)晶化.利用X射线衍射、光学显微镜及透射电镜等测试方法,研究了不同退火工艺对非晶硅薄膜低温晶化的影响,确定了所制备的是多晶硅薄膜.
关键词:
金属诱导
,
非晶硅薄膜
,
低温晶化
,
多晶硅薄膜
张五星
,
徐重阳
,
王长安
,
史济群
,
周雪梅
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.02.012
通过 Sol- Gel方法和半导体工艺,制备出基于 Ba0.8Sr0.2TiO3( BST)薄膜的非致冷红外焦平面 阵列( UFPA)探测单元.用 ANSYS有限元分析软件,对探测单元进行了热分析.分析结果表明: 微桥的大小可以极大的影响薄膜受到辐射后的温度以及薄膜温度的均匀性.对微桥和硅衬底上 的 BST薄膜进行了结构和性能上的对比.发现微桥上面的 BST薄膜其介电常数有所下降,漏电 流增加.而且为了得到致密无裂纹的 BST薄膜,必须减少它的厚度.对所制备的 UFPA探测单 元进行了红外测试,得到 1.6mV左右的信号输出,可以满足下一步信号处理的需要.
关键词:
微桥
,
Sol- Gel
,
BST
,
UFPA
,
介电常数
张五星
,
徐重阳
,
王长安
,
史济群
,
周雪梅
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.04.009
采用sol-gel方法制备出BaxSr1-xTiO3(BST)薄膜,并优化工艺提高其介温变化率最大可达6%.通过半导体光刻工艺,刻蚀出BST探测单元,较好的解决了UFPA技术中的探测单元制备问题.设计了初级信号处理电路,并用Protel进行了电路模拟,所得信号可以应用于进一步的信号处理.
关键词:
sol-gel
,
BaxSr1-xTiO3 薄膜
,
UFPA
,
介电常数
祝凤荣
,
周雪梅
,
贾焕玉
原子核物理评论
doi:10.11804/NuclPhysRev.31.02.183
利用Lomb-Scargle傅里叶变换法和统计折叠周期分析法，对2009年8月到2011年10月期间西藏羊八井国际宇宙线站的ARGO实验大厅内的氡浓度监测数据进行研究。结果表明，实验大厅内的氡浓度具有1日和半日周期变化规律，其中以1日周期变化为主。在1 d中氡浓度的平均值为(567.2±1.1) Bq/m3，变化幅度为(79.0±1.4) Bq/m3，北京时间约11：20时达到最大，北京时间约23：20达到最小。分析还表明，在一年中月平均浓度的最小值出现在6月份，而较大值出现在下半年的某些月份，每月的日变化幅度和浓度最大时的时间多变。这些结果对环境氡的浓度变化规律及其相关理论模型研究具有重要的意义，同时对西藏地区居住环境监测评价提供了重要的参考。
关键词:
氡浓度
,
变化规律
,
西藏羊八井ARGO实验大厅
