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氮气辅助氙离子束增强沉积TiN薄膜及其机械性能

王曦 , 杨根庆 , 柳襄怀 , 郑志宏 , 黄巍 , 周祖尧 , 邹世昌

金属学报

本文提出一个合成TiN硬质薄膜的新方法,在氮气氛中,电子束蒸发沉积Ti的同时,用40keV的氙离子束对其进行轰击而合成TiN薄膜,该方法优于PVD和CVD之处在于合成温度低,薄膜与基体结合力强,其临界载荷达4.2kg,Knoop硬度达2200kg/mm~2,具有良好的耐磨损性能,报道了所合成的TiN薄膜在工业上应用的一些结果。

关键词: TiN薄膜 , ion beam enhanced deposition

离子束混合对铁的水溶液腐蚀行为的影响

周佩德 , 周祖尧 , 邹世昌 , 田薇 , 李俊

中国腐蚀与防护学报

本文应用电化学及俄歇电子能谱等技术,研究了离子束混合对铁的水溶液腐蚀行为的影响,旨在探讨离子束混合作为一种材料表面改性的新途径,用于提高纯铁腐蚀性能的可能性。电化学动电位扫描的结果表明,纯铁表面真空沉积铬薄层(~400),经氩离子束轰击混合后,其阳极致钝电流密度(I_i)和维钝电流密度(I_m)较混合前均有数量级的降低,此种腐蚀性能改进的效果随轰击剂量的增加而增加。钝化膜的俄歇电子能谱分析结果表明,腐蚀性能的改进可归因于表面形成了一层富铬的以氧化膜为主的钝化膜,也与混合界面上形成的亚稳相有关。同时,发现经氩离子轰击后,在混合层及其附近的铁衬底中产生了“氩泡”为主的物理损伤.

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