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溅射功率对射频磁控溅射Al掺杂ZnO(ZAO)薄膜性能的影响

汪冬梅 , 周海波 , 朱晓勇 , 吕珺 , 徐光青 , 吴玉程 , 郑治祥

金属功能材料

用射频磁控溅射技术,在纯氩气氛中不同溅射功率(120W~210W)下于玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(ZAO)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、光谱仪和四探针测试仪等对所制备的薄膜进行了晶体结构、光学和电学性能分析.结果表明,纯氩气氛中不同溅射功率下玻璃衬底上原位沉积的ZAO薄膜具有明显的c轴择优取向性,它没有改变ZnO的六角纤锌矿结构;ZAO薄膜的可见光区平均透光率不强烈依赖于溅射功率,为75%左右;原位沉积ZAO薄膜的电阻率达到102Ω·cm数量级范围,随溅射功率由120 W增大到210 W时,薄膜电阻率从132.67 Ω·cm降低到21.08 Ω·cm.

关键词: ZAO薄膜 , RF磁控溅射 , 结构性能 , 可见光透过率 , 电阻率

模拟溶液中Mn对Zn腐蚀的作用机制

周海波 , 张波 , 朱丽娟 , 王俭秋 , 韩恩厚 , 柯伟

腐蚀学报(英文) doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2008.06.002

采用动电位极化、扫描电镜(SEM)和X光电子能谱分析(XPS)等技术研究了含0.4mass%Mn的Zn-0.4Mn合金在模拟海洋大气环境溶液(0.1 mol/L NaCl+0.1 mol/L Na2SO4+0.01 mol/L NaHCO3)中的腐蚀行为.结果表明,Zn和Zn-0.4Mn合金上的腐蚀产物均以ZnO和Zn5(CO3)2(OH)6为主,但Zn-0.4Mn表层有更多的Zn5(CO3)2(OH)6.Mn的作用足使腐蚀产物致密,并促进耐蚀腐蚀产物(Zn5(CO3)2(OH)6)的形成,从而显著提高Zn在此溶液中的耐蚀性能.

关键词: Zn合金 , Mn元素 , 腐蚀 , XPS

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