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方静华 , 项金钟 , 周桢来 , 吴兴惠
材料导报
纳米金刚石薄膜具有金刚石薄膜和纳米材料的双重优异特性,而在制备工艺上又与金刚石薄膜有所不同,通过与金刚石作比较,综述了纳米金刚石薄膜的制备特点,表征方法;并列举了其在场发射、耐磨减摩等领域的应用和其独特性能.
关键词: 金刚石 , 纳米金刚石薄膜 , 特性与应用
陈秀华 , 王莉红 , 项金钟 , 吴兴惠 , 周桢来
功能材料
利用高真空磁控溅射镀膜的方法制备了超大规模集成电路铜布线的扩散阻挡层TaN薄膜,讨论了实验条件温度、功率和氩气与氮气气流量比对TaN薄膜的生长动力学和表面形貌结构的影响,得到较好的制备TaN薄膜的实验参数.
关键词: 磁控溅射 , TaN阻挡层薄膜 , 生长动力学
