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偏压对直流磁控溅射Fe-N薄膜结构及性能的影响

李伟力 , 郑晓航 , 周庚衡 , 薛宗伟

材料科学与工艺

为了揭示偏压对溅射态Fe-N薄膜磁学行为的影响规律及机理,采用直流磁控溅射工艺在不同偏压下制备了Fe-N薄膜.利用掠入射X射线衍射、小角X射线散射技术和振动样品磁强计研究了薄膜的相结构、厚度、表面粗糙度以及磁性能.结果表明,增加偏压有利于薄膜中非晶的形成,且随着偏压的增大,薄膜的厚度增加,表面粗糙度降低.Fe-N薄膜的磁性能表明,随着偏压的增加,薄膜的饱和磁化强度和矫顽力均有不同程度的减小.偏压的增加导致Fe-N薄膜由晶态向非晶态转变,从而引起磁性能的改变.

关键词: Fe-N薄膜 , 偏压 , 膜厚 , 表面粗糙度 , 磁性能

C/C复合材料显微结构的微米、纳米尺度研究

梁加淼 , 周庚衡 , 贺连龙

新型炭材料

利用扫描电子显微镜、高分辨透射电子显微镜以及拉曼光谱对化学气相渗透C/C复合材料的形貌特征、显微结构以及石墨化度进行了系统表征.结果表明,热解炭是由厚度在几十到几百纳米的片层结构组成,这些片层结构围绕炭纤维呈层状排列;热解炭为粗糙层结构,在离子束的轰击下很容易撕裂和扭折.炭纤维/热解炭界面上存在一个宽度大约为15nm的无序区,该区域的形成可能与热解炭的沉积工艺有关.炭纤维和热解炭的石墨化度均很低,热解炭的R(R=ID/IG+D')值由内层到外层逐渐降低.

关键词: C/C复合材料 , 显微结构 , 界面结构 , 热解炭 , 透射电子显微镜

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