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四配位非晶碳薄膜的研究进展

魏爱香 , 周友国

新型炭材料 doi:10.3969/j.issn.1007-8827.2000.04.019

四配位非晶碳薄膜是近年来发展的一种新型宽带隙半导体材料,具有独特的物理和化学特性.本文对四配位非晶碳薄膜的研究意义,制备方法,形成机理,结构和性能表征及应用前景作较全面的介绍.

关键词: 四配位非晶碳薄膜 , 制备方法 , 形成机理 , 结构和性能 , 应用前景

非晶金刚石薄膜的拉曼光谱研究

陈弟虎 , 魏爱香 , 周友国 , 范家海 , 杨增红 , 彭少麒

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.01.032

碳离子的能量是影响非晶金刚石薄膜结构和性质最关键的工艺参数. 采用磁过滤真空溅射离子技术,研究不同衬底偏压V b(即不同碳离子能量)下制备的非晶金刚石薄膜的拉曼光谱和表面形貌. 结果表明: -50V V b-10V时,样品表面均匀、光滑,拉曼谱是对称且很宽的散射带;V b>-10V 或V b<-50V时,已有晶团出现,表面粗糙度明显增加,拉曼谱明显地分裂为1580cm-1的G带和1350cm-1的D带.

关键词: 非晶金刚石薄膜 , 拉曼光谱 , 表面形貌

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