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离子注入/辐照引起Al2 O3单晶的改性研究

宋银 , 张崇宏 , 王志光 , 赵志明 , 姚存峰 , 周丽宏 , 金运范

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2006.02.026

600 K温度下用110 keV的He+, Ne+, Ar+离子注入及320 K温度下用230 MeV的208Pb27+辐照Al2O3单晶样品, 研究了离子注入和辐照对Al2O3单晶样品结构和光学特性的影响.从测得的光致发光谱可以清楚地看到, 所有样品在波长为375, 413和450 nm处出现了强的发光峰, 且所有5×1016 ion/cm2注入样品的发光峰均最强.经过高能Pb辐照后的样品, 在390 nm处出现了新的发光峰.透射电镜分析发现在注入氖样品100 nm入射深度以内形成了高浓度的小空洞(1-2 nm), 在Ne沉积区域有少量大空洞形成.傅立叶变换红外光谱分析发现, 波数在460-510 cm-1间的振动吸收带经过离子辐照后展宽, 随着辐照量的增大, 该振动吸收强度显著减弱.1 000-1 300 cm-1对应Al-O-Al桥氧伸缩振动模式的吸收带, 辐照后向高波数方向移动.对离子注入和辐照对Al2O3单晶样品结构损伤机理进行了初步探讨.

关键词: 离子注入 , 重离子辐照 , Al2O3 , 光致发光谱 , 透射电镜分析 , 红外光谱

铅离子辐照注碳4H-SiC的红外光谱特性研究

周丽宏 , 张崇宏 , 宋银 , 杨义涛

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2006.02.031

主要研究了铅离子辐照注碳4H-SiC样品在3个不同退火温度下傅立叶变换红外光谱的变化.从红外谱的变化可以知道铅辐照注碳4H-SiC样品在一定深度内出现了非晶层, 波数在960-1 450 cm-1范围内出现了干涉带, 干涉带强度随着退火温度的升高而变弱.1 373 K退火后样品的卢瑟福背散射分析结果显示, 一定深度内硅原子的背散射产额明显减少.

关键词: 4H-SiC , 傅立叶变换红外光谱 , 离子注入 , 卢瑟福背散射分析 , 退火

注氦尖晶石的红外光谱研究

杨义涛 , 张崇宏 , 周丽宏 , 李炳生

原子核物理评论

利用傅立叶变换红外光谱仪对注He尖晶石样品随退火温变化而引起光吸收性能的变化进行了研究.发现尖晶石样品在626.4 cm-1附近的吸收峰随注入剂量的增加向小波数方向移动,而在随后退火过程该吸收峰随退火温度的增加而向大波数方向回复.该吸收峰的回复行为依赖于注入剂量和退火温度.认为在626.4 cm-1附近吸收峰随注入剂量和退火温度的这种变化与尖晶石中He的俘获以及释放有关.

关键词: 离子注入 , 红外光谱 , , 俘获与释放 , 尖晶石

He注入单晶Si表面形貌的变化研究

李炳生 , 张崇宏 , 杨义涛 , 周丽宏

原子核物理评论

沿Si的(100)面注入He离子, 能量为30 keV、剂量为5×1016 ions/cm2. 注入后样品切成几块, 在真空炉中分别做退火处理, 退火温度从600 ℃到1 000 ℃, 退火时间均为30 min. 利用原子力显微镜研究了各个样品表面形貌的演化. 发现样品表面形貌与退火温度相关联. 假设在气泡中He原子与空位的比值很高, 导致样品内部存在高压的He泡, 从而使样品表面形貌发生变化. 探讨了在Si中He泡随退火温度的演化和He原子在材料中的释放机制及其对表面的影响.

关键词: 单晶Si , 离子注入 , He泡 , 原子力显微镜 , 表面形貌

He离子注入的尖晶石中Au纳米颗粒的合成研究

杨义涛 , 张崇宏 , 周丽宏 , 李炳生 , 张丽卿

原子核物理评论

利用20 keV的He离子注入表面蒸镀了Au薄膜的尖晶石(MgAl_2O_4)样品,随后对注入样品进行了退火处理.在紫外可见光谱上观察到了由于金属纳米颗粒的存在而引起的较强的表面等离子体共振吸收峰,提供了材料中金属纳米颗粒形成的光谱证据.并对形成的Au纳米颗粒的尺寸随退火温度以及He注入剂量的变化进行了研究.

关键词: 离子注入 , He , 金属纳米颗粒 , 紫外可见光谱

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