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基于有限单元法三轴体微加速度传感器固有频率的灵敏度分析

吴振亭 , 程传蕊

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.04.019

应用大型有限元分析软件ANSYS10.0建立了三轴体微机械电容式加速度传感器的有限元模型,以该模型为基础分析了传感器的前3阶固有频率及其振型.分析表明第一、二阶振型分别影响传感器在X和Y方向上的加速度测量,而第三阶振型则影响传感器在Z方向上的加速度测量,且影响程度较大.分析了传感器挠性轴的宽度、高度、长度和质量块的高度及密度等结构参数对传感器主要性能指标的影响程度,所得分析结果可为传感器的减振设计和进一步的优化设计提供理论依据.

关键词: 有限单元法 , 加速度传感器 , 固有频率 , 灵敏度分析