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化学气相沉积法制备ZnS块材料的相结构

憨勇 , 吴慧卓

材料工程 doi:10.3969/j.issn.1001-4381.1999.02.002

用化学气相沉积法制备了红外晶体ZnS块材料;分别用XRD和TEM分析了所沉积ZnS的相结构,并用IR测试了其红外透过率.结果表明:在沉积温度为550～700℃,H2S/Zn摩尔流量比为0.5～20的条件下所沉积ZnS的相结构主要为闪锌矿结构;随着沉积温度的升高和H2S/Zn摩尔流量比的增大,ZnS中有纤锌矿结构出现且其含量增多,导致了ZnS红外透过率的降低.

关键词: 化学气相沉积 , ZnS块材料 , 相结构