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热屏结构对大直径单晶硅生长影响的数值分析

滕冉 , 常青 , 吴志强 , 汪丽都 , 戴小林 , 肖清华 , 姜舰 , 张果虎 , 周旗钢

人工晶体学报

采用有限元法计算了300 mm硅单晶生长过程中,热屏结构对炉体内温度分布、熔体中流场以及晶体内热应力的影响.计算所用的模型涵盖了晶体生长过程中的主要物理现象,包括结晶潜热的释放、结晶前沿的形变、熔体中热和质的传输以及氧的输运等.计算结果表明使用直壁式热屏时,晶体-熔体界面变得更加平坦同时结晶前沿处的热应力大幅度下降,减少了发生宏观位错的可能性,此外熔体中的氧含量显著降低.

关键词: 单晶硅 , 有限元法 , 热屏

Φ125 mm直拉硅单晶氧径向均匀性研究

郝玉清 , 张果虎 , 常青 , 方锋 , 吴志强 , 万关良 , 秦福

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.06.017

为控制氧径向均匀性, 选择Φ350 mm热场. 增加晶转速度可以改善氧径向均匀性, 但石英坩埚转速对氧径向均匀性没有明显影响.

关键词: Φ125 , mm硅单晶 , 氧径向均匀性 , 热场 , 晶转速度 , 石英坩埚转速

固溶处理对Fe-25Mn-1Al-0.2C钢组织性能的影响

李华英 , 丁桦 , 蔡志辉 , 吴志强 , 邱春林 , 黄明丽

材料热处理学报

设计了一种低层错能TWIP(Twinning Induced Plasticity)Fe-25Mn-1Al-0.2C钢,对该钢分别在900、1000和1100℃进行了固溶处理实验,研究了实验钢的微观组织和力学性能。结果表明:实验钢晶粒尺寸随着固溶温度的升高和时间的延长而增大。在1100℃时,退火孪晶贯穿整个晶粒。实验钢的抗拉强度随着固溶温度的升高而降低。当固溶温度为900℃时,随着真应变的增加,应变硬化率缓慢地降低。当固溶温度为1100℃时,均匀塑性变形分为三个阶段,并且观察到孪晶交割。

关键词: 高锰钢 , TWIP , 固溶处理 , 晶粒尺寸 , 形变孪晶

大直径直拉硅单晶等径的PID参数优化

姜舰 , 邓树军 , 戴小林 , 吴志强 , 朱秦发 , 刘冰

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2010.06.028

随着国内硅材料应用技术不断发展,在大直径单晶的直径生长控制方面除了在设备上采用更加先进的双CCD系统,同时也对单晶生长的直径PID提出了更加严格的要求,因此研究单晶生长的直径PID参数设置有着重要意义.以等径阶段PID参数设置为研究对象,采用晶体生长的实验方法研究了不同PID参数控制对晶体生长的影响,分析了不同参数的作用,最终获得了大直径CZ硅等径生长的优化PID控制参数.实验选用TDR-150型单晶炉,Ф700mm热场系统,一次性投人200kg多晶硅,拉制目标直径400mm的大直径硅单晶.从实验中可以分别得到4条晶体生长等径过程中直径波动曲线以及4张等径过程中实际拉速及晶体生长速率波动图.通过对比分析,实验确认了PID 3个参数(P值比例增益,D值微分,I值积分)的合理取值范围及其作用效果:应使P值在系统具备较高灵敏度和稳定控制的平衡点;使D部分在系统频率特性的中频段,以改善系统的动态性能;而使I值在系统频率特性的较低频段,以提高系统的稳态性能,同时又能够作用于长期控制.

关键词: 大直径 , 直拉 , 单晶直径 , PID参数

Φ200 mm硅单晶的生长工艺特点

张果虎 , 常青 , 方锋 , 吴志强 , 周旗钢

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.01.017

在全自动拉晶条件下, 讨论了拉制Φ200 mm硅单晶遇到的新问题. 热场配置、工艺参数的选择、石英坩埚的选用等有了更严格的要求. 合理的轴向温度梯度和径向温度梯度、低拉速、低晶转及规范的拉晶工艺是拉制大直径单晶的关键.

关键词: Φ200 , mm硅单晶 , 无位错 , 热场 , 工艺参数 , 系统操作参数表

应变速率对低C高Mn TRIP/TWIP钢组织演变和力学行为的影响

吴志强 , 唐正友 , 李华英 , 张海东

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00590

研究了Fe--18Mn低C高Mn TRIP/TWIP钢在应变速率范围为1.67×10-4---103 s-1的室温拉伸实验过程中力学性能和组织的变化. 在准静态拉伸应变速率范围内(1.67×10-4---1.67×10-1 s-1), 应变速率对高Mn~TRIP/TWIP钢的抗拉强度产生逆效应, 随着应变速率的加快, 抗拉强度和延伸率都降低; 而在动态拉伸应变速率范围内 (101---103 s-1), 应变速率对高Mn TRIP/TWIP钢的延伸率产生逆效应, 抗拉强度和延伸率都随着应变速率的加快而增加; 在应变速率为103 s-1时, 高Mn TRIP/TWIP钢抗拉强度可达到957 MPa, 延伸率达到55.8%, 具有较好的综合力学性能; 随着应变速率的提高, 马氏体转变量减少, 孪生变形向多个方向发展. 采用SEM, TEM和XRD等方法对变形前后的组织进行了分析, 在所有应变速率范围内的拉伸变形过程中都产生了奥氏体向马氏体转变和形变孪晶, 并且在应变速率为103 s-1 的高速拉伸过程中产生绝热温升效应, 使得基体软化.

关键词: TRIP/TWIP钢 , strain rate , microstructure evolution , martensitic transformation , deformation twin

液面位置对φ300mm硅单晶固液界面形状影响的数值计算

王学锋 , 高宇 , 戴小林 , 吴志强 , 张国虎 , 周旗钢

人工晶体学报

数值模拟技术已经成为分析和优化工业化晶体生长工艺必不可少的工具.本文利用有限元分析软件计算了φ300 mm直拉硅单晶生长过程中,不同液面位置时的晶体固液界面形状,模拟计算考虑了热传导、辐射、气流等物理现象,分析了晶体长度和液面位置对晶体生长界面形状的影响,得出了随着晶体长度的增加固液界面的凸度会增大的规律.

关键词: 直拉硅单晶 , 固液界面 , 液面位置 , 数值模拟

锆基大块非晶合金在NaCl溶液中的腐蚀行为

何顺荣 , 吴志强 , 汪波 , 程曙霞 , 陈树榆

金属功能材料

利用电化学方法研究了3种锆基大块非晶合金Zr60Al15Ni25、Zr65Al10Ni10Cu15和Zr52.5Al10Ni10Cu15Be12.5在1%、3.5%和10%(wt.%)NaCl溶液中的腐蚀行为.极化曲线的测试结果表明,在相同浓度NaCI溶液中Zr60Al15Ni25合金表面形成相对稳定的钝化膜,表现出较好的耐腐蚀能力.元素Cu和Be的添加,降低了合金Zr52.5Al10Ni10Cu15Be12.5和Zr65Al10Ni10Cu15在NaCl溶液中的钝化能力,增加了点蚀的敏感性.失重法研究结果表明3种合金腐蚀速率的大小顺序依次为Zr65Al10Ni10Cu15>Zr52.5Al10Ni10Cu15Be12.8>Zr60Al15Ni25.剌用扫描电镜(SEM)和能量散射X射线谱(EDS)分析了极化后的合金表面,结果表明点蚀孔内部Zr、Al、Ni的选择性溶解和Cu在钝化膜下的富集导致了合金的耐腐蚀性能降低.

关键词: 锆基非晶 , 大块非晶合金 , 电化学 , 钝化 , 点蚀

大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟

王学锋 , 翟立君 , 周旗钢 , 王敬 , 戴小林 , 吴志强

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2004.05.018

数值模拟技术已经成为分析和发展工业化晶体生长工艺必不可少的工具.提出了直拉硅单晶生长过程温度分布的有限元模拟,通过对300mm单晶炉内热场的数值模拟计算,得出了晶体生长不同阶段的单晶炉内温度分布及相应的温度梯度和热流密度分布.

关键词: 直拉硅单晶 , 热场 , 数值模拟

高锰TRIP/TWIP效应共生钢高速变形过程中的组织演变及变形行为

唐正友 , 吴志强 , 昝娜 , 丁桦

金属学报 doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00311

对18Mn-3Al-3Si和21Mn-3Al-3Si高锰TRIP/TWIP效应共生钢动态变形过程中的变形行为,应变硬化速率、真应力和应变硬化指数随真应变的变化,以及应变硬化和基体软化间的相互作用等进行了研究,采用OM,SEM,TEM和XRD等方法对变形前后的组织进行了分析.结果表明,高应变速率下,TRIP/TWIP效应共生钢应变诱发相变途径为γ→ε→α;高速变形对滑移的抑制、奥氏体向马氏体的相变和形变孪晶对奥氏体晶粒的细化是应变硬化的主要因素;造成基体软化的原因是绝热温升效应、ε→γ的逆相变和孪晶的动态再结晶.

关键词: TRIP/TWIP效应共生钢 , 高速变形 , 组织演变 , 变形行为

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