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Ta_2O_5薄膜的离子敏感特性

吴冲若 , 刘刚 , 林海安 , 邱洁真

材料研究学报

用磁控溅射法制备了T0a2O5薄膜,再用C-V法和JFET外接薄膜电极法研究其稳定性和离子响应灵敏度.实验发现,在纯氧中沉积的厚200nmT2O5薄膜有较高的离子响应灵敏度和良好的稳定性.

关键词: Ta_2O_5薄膜 , ion sensitive , membrane electrode , stability

聚酰亚胺LB膜MIS结构C-V特性

林海安 , 吴冲若

材料研究学报

本文报道了Al/LB聚酰亚胺膜/P-Si(100)MIS结构的C一V特性研究结果.67层LB膜样品C-V特性近乎理想,具有负的固定电荷密度约1011cm-2量级,平带时滞后小于0.3V对于MIS隧道结,除了在-0.5—-1.5V间具有反型层箝位产生的电容峰外,在-1.5—-4V间还出现了另一电容峰值.假设在强电场下隧穿能力剧增,从而结构由隧穿限制区重新进入半导体限制区,可以解释这一峰值的出现,考虑到少子注入引入的扩散电容,正、反向扫描时电容峰值的差别可以得到解释

关键词: LB聚酰亚胺膜 , null , null , null , null

BaTiO3纳米粒子/环氧精细功能复合材料的制备及其介电性能的研究

刘泽 , 李永祥 , 吴冲若

复合材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-3851.1998.04.004

采用精细复合工艺,制备了BaTiO3纳米粒子/环氧复合材料,研究了该复合材料的介电常数随BaTiO3含量的变化关系,以及复合材料的介电损耗性能.

关键词: 复合材料 , 介电性能 , BaTiO3纳米粒子

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