薛向尧
,
张平
,
黎海文
,
刘永顺
,
吴一辉
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.05.005
为了实现室温、常压下聚二甲基硅氧烷(PDMS)与硅的键合,本文利用氧等离子体分别对PDMS、硅进行表面改性处理.考察了等离子体射频电源功率、处理时间、氧气流量对PDMS-硅键合强度的影响.通过优化工艺适当降低PDMS表面被氧化的程度,可使PDMS活性表面的持续时间延长至45分钟,实现了PDMS-硅在室温常压下的永久性键合.通过X-射线光电子能谱(XPS)对改性后PDMS表面化学组分变化的分析,可推断出PDMS表面Si-OH的稳定性是影响键合强度的主要因素.
关键词:
氧等离子体
,
聚二甲基硅氧烷(PDMS)
,
键合
,
XPS
程千兵
,
武俊峰
,
吴一辉
,
宣明
低温物理学报
设计了一种基于超导磁悬浮轴承的微飞轮系统样机．该微飞轮系统以超导磁悬浮轴承作为支撑机构，以平面直流无刷电机作为驱动装置，在输入电压14．4V电流0．36A时，飞轮转子在空气中最高转速可达到15000rpm．通过对采用机械轴承的飞轮系统和超导磁悬浮飞轮系统的自由降速曲线测试，求出不同轴承的摩擦损耗，并得到超导磁悬浮飞轮系统在不同转速下的等效摩擦系数为0．001-0．007，发现超导轴承等效摩擦系数随着速度的增加而增加，分析表明随着转速增加，超导磁悬浮轴承涡流损耗和磁滞损耗增加．
关键词:
高温超导磁悬浮轴承
,
超导磁悬浮微飞轮系统
,
平面直流无刷电机
,
摩擦损耗
张涛
,
吴一辉
,
张平
,
刘永顺
,
于震雷
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.022
基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵.微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜.电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar.
关键词:
微机械
,
微型电磁驱动器
,
微型泵
,
集成磁性薄膜
李加东
,
宣明
,
吴一辉
,
张平
,
王淑荣
,
刘永顺
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.012
研究了一种可用于微反射镜制作的光亮镀镍工艺.分析了微小面积电镀时出现边缘效应的问题,提出了增加牺牲结构的方法提高沉积速率并降低电镀边缘效应.通过脉冲微电镀实验,讨论了电流对电镀边缘效应的影响,同时分析了影响镀层表面质量的因素,得出了一组具有参考价值的电镀参数,电镀出了长620μm、宽500μm、厚2μm的微反射镜表面结构,经测量计算,该条件下,镍的生长速度约为0.1μm/min,表面平均粗糙度约为4.376nm.
关键词:
光亮镀镍
,
微反射镜
,
微电镀
,
边缘效应
