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全玻璃平板型真空荧光光源的工艺探讨

刘光诒 , 夏善红 , 吕永积 , 陈绍凤 , 李宏彦 , 罗运良 , 王建英

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2001.04.007

提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源(VFLS)管, 与国际上传统的真空荧光光源管比较, 新的器件在大面积碳场发射阴极, 厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的. 从真空荧光光源管内的工作原理出发, 分析了该器件工作时管内发生的主要物理过程, 详细介绍了研制VFLS管的制造工艺, 并讨论了此工作目前存在的问题及前景.

关键词: 真空微电子学 , 真空荧光光源 , 全玻璃平板型

在烧结氧化中Se气氛对真空微电子平板摄像管CdSe靶面性能的影响

吕永积 , 邵佑军 , 刘光诒 , 施化芬 , 罗运良

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.03.006

CdSe是研制高灵敏真空微电子平板摄像管光导靶材材料,在CdSe靶材的结晶过程中Se气氛对形成完整的晶格结构起了至关重要的作用.介绍了精确控制Se气氛的实验装置和Se气氛对CdSe光导靶性能影响的实验结果.

关键词: 真空微电子摄像管 , 硒气氛 , 六角形结构

靶面淀积参数对真空微电子平板摄像管特性的影响

吕永积 , 邵佑军 , 刘光诒 , 施化芬

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.04.005

为了开发用于真空微电子平板摄像管的高灵敏度CdSe多层光导材料,改建了一台能精确控制CdSe材料的蒸发速率、厚度和基体温度的高真空蒸镀设备,开发了由真空热预处理,非真空热后处理二种处理新工艺,制造出了新的高性能的CdSe多层光导靶.使CdSe多层光导靶的灵敏度提高了两个数量级,而清晰度(分辨率)保持不变.介绍了CdSe蒸发工艺对靶面特性的影响.

关键词: 真空微电子平板摄像管 , 真空热预处理 , 非真空热后处理

真空微电子平板摄像管10×10像素驱动电路的设计与制作

蔡东山 , 吕永积 , 邵佑军 , 黄庆云

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.06.010

真空微电子平板摄像是一种全新的摄像理论,它采用碳纳米场发射阴极、栅极和阳极(收集极)三极管结构.介绍了真空微电子平板摄像管驱动电路的设计要求、设计思路和电路测试结果,实验中采用的栅极驱动对驱动电路(扫描电路)起到了关键作用.

关键词: 真空微电子平板摄像 , 场频 , 行频 , 场同步 , 行同步

真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用

吕永积 , 邵佑军 , 黄庆云 , 蔡东山 , 施化芬

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2003.04.010

为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺.重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他工艺一起可制造出新的高性能的CdSe多层光导靶.实验结果表明,CdSe多层光导靶的灵敏度提高,而清晰度(分辨率)保持不变,介绍了与VHPT工艺有关的实验结果.

关键词: 真空微电子平板摄像管 , 真空热预处理 , 非真空热后处理

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