吕会敏张钧
材料研究学报
采用多弧离子镀技术和Ti--Al合金靶及Zr单质靶的组合, 在高速钢基体上制备了(Ti,Al,Zr)N多元N梯度硬质反应膜。分别用扫描电镜、X射线衍射仪观察测定(Ti, Al, Zr)N梯度膜膜层的表面、断面形貌、成分以及相结构, 研究了(Ti, Al, Zr)N多元氮梯度硬质反应膜的组织结构和性能。结果表明, 与TiN、(Ti, Al)N、(Ti,Zr)N及(Ti, Al, Zr)N等单层硬质膜相比, 采用Ti--Al合金靶及单质Zr靶组合方式制备的(Ti, Al, Zr)N多元氮梯度硬质反应膜具有较高的硬度和膜/基附着力, 硬度最高可达HV6000, 膜/基附着力大于180 N。同时, 膜层还具有良好的抗热震性能。
关键词:
材料表面与界面
,
(Ti, Al, Zr)N films
,
multi–arc ion plating
,
micro–hardness
,
thermal shock
