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锗硅碳合金中碳的应变缓解效应研究

章国强 , 黄靖云 , 亓震 , 卢焕明 , 赵炳辉 , 汪雷 , 叶志镇

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2000.01.005

SiGeC三元合金成为近年来人们研究的热点之一.处于替代位置的碳可以缓解SiGe合金的应变,同时调节其能带,在能带工程上提供了更大的灵活性.本文利用UHV/CVD技术生长了掺碳达2.2%的锗硅碳合金,获得了良好的外延层质量,并对碳的应变缓解效应进行了研究.

关键词: 锗硅碳合金 , 应变弛豫 , 超高真空CVD

氧化锌微米棒的微观生长过程

王维维 , 朱丽萍 , 叶志镇 , 王敬蕊 , 杨叶锋 , 何海平 , 赵炳辉

材料科学与工程学报

利用物理热蒸发方法在光滑的(111)硅衬底上生长氧化锌微米棒,生长温度为700℃.在硅衬底的不同区域由于生长环境不同,生成物的形貌也不相同.利用扫描电镜图可以很直观地推测出一个完整的氧化锌微米棒生长过程.透射电镜图片显示了纳米棒与微米棒之间完美的外延关系.

关键词: 晶体外貌 , 外延生长 , 物理热蒸发 , 自组装

UHV/CVD硅外延的实时硼掺杂研究

王亚东 , 黄靖云 , 叶志镇 , 汪雷 , 马德群 , 赵炳辉

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2001.02.009

本文利用超高真空化学气相沉积系统(UHV/CVD)在720℃Si(100)衬底上进行了实时B掺杂的硅外延.采用二次离子质谱仪(SIMS),傅立叶红外光谱(FTIR),扩展电阻仪(SRP)对外延层的性能进行研究.研究表明:720℃生长时已经实时掺入了B原子,1000℃退火5分钟后,外延层中B原子被激活,浓度达到1017~1O18cm-1,且过渡层分布陡峭.

关键词: 超高真空化学气相沉积 , 实时B掺杂 , 硅外延

p型Na掺杂ZnMgO薄膜的光电导性能

薛雅 , 叶志镇 , 陈凌翔 , 叶春丽

材料科学与工程学报

采用脉冲激光沉积(PLD)方法在石英衬底上制备p型Na掺杂ZnMgO薄膜,薄膜在氮气气氛中600℃退火60 s,具有较好的光电性能.在室温下分别用波长254nm的紫外光和波长630nm的红色激光对样品进行了光电导性能测试.两种光照下,光电流均瞬间上升,且光响应度与外加偏压具有线性相关性.紫外光照下p型Na掺杂ZnMgO薄膜的光电流变化比红色激光照射下要显著.

关键词: Na掺杂 , p型ZnMgO , 光电导

以科研促进《薄膜材料技术与物理》专业课程的教学改革

叶志镇 , 张银珠 , 黄靖云 , 汪雷

材料科学与工程学报

探索了科学研究对<薄膜材料技术与物理>新技术专业课程教学的深化与拓展,强调理论与科学实验相结合,提倡学生进行研究式学习,以期加强对学生综合能力、创新能力的培养,取得更好的教学效果.

关键词: 科研 , 薄膜材料技术与物理 , 教学改革

溶胶-凝胶提拉法制备ZnO薄膜及其性能研究

宋永梁 , 季振国 , 王泉香 , 向因 , 叶志镇

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2004.01.003

采用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴择优取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用荧光光谱分析了经过400~600℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下可获得较强的紫外带边发射.适当选择热处理温度可以获得无可见波段发射的ZnO薄膜.

关键词: ZnO薄膜 , 光致发光 , 溶胶-凝胶法 , 提拉法

MOCVD法在MgO(100)衬底上生长m面ZnMgO薄膜

张亚琳 , 黄靖云 , 吴科伟 , 卢洋藩 , 叶志镇

材料科学与工程学报

本文采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)法在MgO(100)衬底上成功生长了非极性的m面(1010) ZnMgO薄膜.研究了衬底温度对ZnMgO薄膜生长取向的影响.X射线衍射(XRD)分析结果表明当衬底温度为400℃时可以获得单一取向的m面ZnMgO薄膜.采用扫描电子显微镜(SEM)观察到ZnMgO薄膜表面平整,由条纹状结构组成.透射电子显微镜(TEM)分析进一步证明ZnMgO为具有m面取向的单晶薄膜.X射线光电子能谱(XPS)定量分析表明ZnMgO薄膜中Mg含量为3at.%.

关键词: ZnMgO , m面 , 金属有机化学气相沉积(MOCVD)

化学法制备水溶性良好的石墨烯及其荧光淬灭应用

张泰然 , 孙陆威 , 何海平 , 叶志镇

材料科学与工程学报

采用两步还原法对氧化石墨烯(GO)进行还原,并在还原过程中通过重氮盐反应对石墨烯表面进行磺酸化,改善了石墨烯在水中的溶解性.采用原子力显微镜(AFM)、紫外-可见吸收光谱(UV-vis)、拉曼光谱(Raman)和X射线光电子能谱(XPS)等手段对石墨烯的形貌以及在还原过程中的组成结构变化进行了表征.经过还原和磺酸化的石墨烯,碳原子平面上的含氧官能团大量消失,得到的石墨烯片尺寸约为1μm,层数大致为双层,可以均匀稳定地分散在水中.在此基础上,研究了石墨烯作为荧光淬灭底物淬灭高量子效率的荧光染料罗丹明B溶液的行为,证实了石墨烯是一种良好的荧光淬灭剂.这为其在荧光探测和生物分子传感方面的应用打下了基础.

关键词: 氧化石墨烯 , 石墨烯 , 重氮盐反应 , 荧光淬灭

ZnO薄膜p型转变的难点及解决新方法

曾昱嘉 , 叶志镇 , 袁国栋 , 黄靖云 , 赵炳辉 , 朱丽萍

材料导报

论述了ZnO薄膜p型转变的难点及其解决方法的最新研究进展,并讨论了Al+N+H共掺杂生长p-ZnO薄膜的掺杂机制,提出多层缓冲层生长工艺以实现p-ZnO薄膜的可控掺杂,进而优化薄膜性能.

关键词: p-ZnO H钝化 共掺 缓冲层

退火对金属表面等离激元增强ZnO薄膜发光的影响

宋世燕 , 何海平 , 孙陆威 , 叶志镇

材料科学与工程学报

本文采用脉冲激光沉积方法,在Si衬底上制备了ZnO薄膜.在制备好的薄膜上,用电子束蒸发沉积不同厚度的Al膜并进行快速热退火处理,系统研究了金属厚度、形貌及界面态对发光增强的影响.实验结果显示,在ZnO表面沉积一层金属薄膜时,ZnO的发光强度会降低,且随着金属厚度增加,发光强度越来越弱.当对镀有金属的样品进行退火处理后,ZnO的发光得到增强,且增强倍数在A1厚度为6nm时达到最大.这归因于退火形成的金属颗粒对金属有序表面等离激元的有效散射及退火造成的ZnO-Al界面态的变化.

关键词: ZnO , 金属表面等离激元 , 发光增强 , 界面态

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