游炜臻
,
林耿锐
,
叶嘉明
,
周勇亮
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.03.012
设计并制作了一种Y型无电场电渗泵芯片,以聚电解质静电自组装技术在侧臂通道分别修饰正、负电荷形成电渗泵,实现中间主通道无电场干扰.侧臂由多个平行亚通道构成,以增强电渗泵流速.使用中性离子示踪法、毛细管法分别测定电渗泵流速与压强,考察了电场、亚通道个数及深度对流速与压强的影响.结果表明,流速、压强随外加电场增大而增大,并呈线性关系;流速随侧臂亚通道个数增大而增大,压强随通道深度减小而增大.当电场强度为600V/cm时,含9个深10μm、宽度25μm亚通道的电渗泵流速与压强分别为672nL/min和442Pa.
关键词:
微流控芯片
,
电渗微泵
,
无电场
,
修饰
叶嘉明
,
李明佳
,
庄金亮
,
周勇亮
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.046
玻璃微流控芯片在许多领域已经得到较广泛的应用,但目前的加工需要繁琐的步骤及昂贵的设备进行图形转移及金属牺牲层开窗口.本文提出一种快速制作金属牺牲层图形窗口以用于玻璃微流控芯片加工的方法.以CO2激光直写加工PET膜模板,微细电解加工玻璃基片上的铬/金牺牲层快速获得窗口,湿法腐蚀及热键合制作玻璃微流控芯片.结果表明该法可在10秒内开窗口,电解加工过程使用的模板厚度、电解液组成及施加的压力与电压对窗口的质量都有显著影响.加工的微通道宽度为145μm,边缘整齐,宽度均匀,相对标准偏差为3.72%,深度μm,底部平整度高,并成功用于氨基酸混合液的芯片毛细管电泳分离.同时使用该方法加工的金微电极阵列,电极宽度为100μm,最小间距可达100μm.
关键词:
微流控芯片
,
微细电解加工
,
玻璃芯片
,
微电极
