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致密ZnO薄膜的电化学制备及光学性能研究

付全红 , 宋坤 , 马鹤立 , 史魁 , 倪超能 , 赵晓鹏

功能材料

采用电化学沉积法在ITO导电玻璃上沉积1层致密的ZnO薄膜。用扫描电镜(SEM)对在不同电解液浓度、电压和时间下制备的ZnO薄膜的表面形貌作了表征,并观测了ZnO薄膜的厚度,结果表明当电解液的质量分数为1.2%,电压为1.0V,时间为60s时,制备的ZnO薄膜致密且厚度仅为120nm,利用分光光度计测得ZnO薄膜在可见光波段的透射率高于50%,为ZnO薄膜在多层光学超材料中的应用奠定了基础。

关键词: ZnO薄膜 , 电化学沉积 , 恒电压 , 致密

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