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宋晓岚 , 杨海平 , 史训达 , 何希 , 邱冠周
材料导报
硅材料是现代信息科技的主要载体,而其电化学研究则是正确认识和应用硅材料的前提和基础.从硅的表面和界面特性出发,综述了硅的电化学方面的研究进展,阐述了硅电极的阳极和阴极反应行为,总结了硅的刻蚀以及多孔硅的电化学形成机制和影响因素,并进一步展望了硅材料电化学研究的未来发展方向.
关键词: 硅材料 , 电化学 , 电极反应 , 刻蚀 , 多孔硅
