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半导体激光器后腔面高反射涂层的研究

吴根柱 , 齐鸣 , 叙安怀 , 张永刚 , 李爱珍

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.03.023

采用金属银(Ag)做为高反射镀膜材料,ZrO2介质膜作为与激光器端面的绝缘层和 Ag保护膜,在激光器后腔面实现了高反射涂层.经激光器光电特性测试表明,该高反射膜系能使激光器输出功率提高 60%,阈值电流减小 20%~50%,并且具有良好的化学稳定性、热稳定性和机械强度,能有效保护半导体激光器后腔面.

关键词: 后腔面 , 反射率 , 高反射膜 , 半导体激光器

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