卢翠
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仇中军
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伊萍
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杨雪
材料科学与工程学报
为了提高石英玻璃的磨削去除效率与加工质量,本文基于石英玻璃化学机械磨削原理,开发了石英玻璃高效精密专用水基磨削液.此专用磨削液在水基冷却液基础上分别添加了具有化学改性、冷却、润滑和防锈性能的添加剂,通过正交实验法分析了不同添加剂对石英玻璃表面粗糙度的影响,在此基础上确定了各添加剂的最优成分配比组合.利用开发的专用磨削液与市售磨削液分别对石英玻璃进行磨削实验,实验结果表明,开发的专用磨削液可提高石英玻璃材料的表面加工质量,其磨削性能要优于市售磨削液,能实现石英玻璃高效精密化学磨削.
关键词:
石英玻璃
,
磨削
,
磨削液
,
表面改性
仇中军
,
伊萍
,
卢翠
,
房丰洲
材料科学与工程学报
改变石英玻璃表面的硬度和弹性模量能提高脆性-延性转变的临界磨削深度,实现延性模式磨削.本文通过利用Na2CO3溶液和石英玻璃成分发生化学反应的方法对石英玻璃表面进行改性,并基于纳米压痕法和划痕法对改性后的石英玻璃表面进行分析,研究改性后石英玻璃表面的力学性质和材料去除过程.通过纳米压痕实验表明,Na2CO3溶液中的OH-和石英玻璃发生化学反应,能够在石英玻璃表面生成厚度约为12nm非SiO2成分的物质薄膜,降低了石英玻璃表面硬度和弹性模量,5％、15％的Na2CO3溶液分别使石英玻璃表面硬度降低了4.4％和14.2％,使弹性模量分别降低了9.4％和12.0％,理论脆延转换临界磨削深度分别被提高了3.7和39.1％,从而提高了石英玻璃延性磨削的可操作性.
关键词:
石英玻璃
,
表面改性
,
纳米压痕
,
磨削
