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TiO2薄膜锂化工艺及其性能研究

牛微 , 卢盖 , 高鹏程 , 毕孝国 , 孙旭东

人工晶体学报

本文以钛酸四丁酯(Ti(OC4H9)4)为原料,采用溶胶-凝胶法在ITO导电玻璃基片表面制备了均匀透明的TiO2薄膜.使用X射线衍射仪表征了薄膜的晶型结构.通过电化学方法对TiO2薄膜进行锂化,研究了TiO2薄膜的厚度、热处理温度和外加电压对薄膜锂化效果的影响.结果表明,当镀膜层数为4层,热处理温度为400℃时,TiO2薄膜Li+存储能力最强.当TiO2薄膜相对参比电极外加电压为±2V时,Li+可充分进入薄膜并与之结合形成蓝色化合物LixTiO2,变色效果最为明显.

关键词: TiO2薄膜 , 锂化 , 电致变色 , 溶胶-凝胶

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