黄美东
,
董闯
,
宫骏
,
卢春燕
,
孙超
,
黄荣芳
,
闻立时
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2001.06.016
在不同基体负偏压作用下,用阴极电弧离子镀等离子体物理气相沉积(PVD)方法在单晶Si(100)基片上获得六方晶系的晶态AlN薄膜用X射线衍射仪分析了沉积膜的物相组成和晶格位向随偏压的变化,在扫描电子显微镜(SEM)下观察沉积膜的显微组织形貌.结果表明,在较小偏压下,AlN膜呈(002)择优取向,表面致密均匀;在较大偏压下,AlN膜呈(100)择优取向,表面形貌则粗糙不平.AlN薄膜的择优取向及表面形貌受到不同偏压下不同离子轰击能量的影响.
关键词:
偏压
,
阴极电弧离子镀
,
物理气相沉积
,
AlN薄膜
谭明晖
,
杜昊
,
卢春燕
,
宫骏
,
黄荣芳
,
闻立时
金属学报
研究了超薄Fe膜在可见光波段及红外波段的吸收率随薄膜厚度变化的关系.结果表明,金属薄膜吸收率具有尺寸效应,并具有极大值对比超薄Fe膜吸收率与其直流电导率的实验结果可知,结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因.
关键词:
超薄Fe膜
,
null
,
null
王冰
,
卢春燕
,
孙超
,
黄荣芳
,
闻立时
腐蚀学报（英文）
doi:10.3969/j.issn.1002-6495.2002.01.002
采用电弧离子镀技术在铸造Ni基高温合金K17上沉积NiCrAlY涂层,测定了K17合金和NiCrAlY涂层在900℃～1100℃的氧化动力学曲线.实验结果表明:K17合金和NiCrAlY涂层在不同温度静态空气中氧化动力学曲线基本符合抛物线规律.900℃和1000℃时,K17合金上沉积NiCrAlY涂层后,明显改善了合金的抗氧化性.1100℃时,涂层的保护作用不如900℃和1000℃.900℃氧化时,NiCrAlY涂层氧化膜由α-A12O3和Cr2O3组成;1000℃氧化时,氧化初期,NiO、Cr2O3和A12O3 3种氧化物同时生成.随着氧化的进行,不仅氧化膜增厚,而且发生较复杂的反应,氧化膜的相组成发生变化.随着氧化温度升高,涂层和基体之间元素扩散加剧,Ti从基体扩散到涂层表面形成氧化物是导致涂层抗氧化性降低的原因之一.氧化膜从涂层上剥落下来,也导致了涂层抗氧化能力降低.
关键词:
NiCrAlY涂层
,
Ni基高温合金
,
电弧离子镀
,
高温氧化
谭明晖
,
杜昊
,
卢春燕
,
宫骏
,
黄荣芳
,
闻立时
金属学报
doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2001.10.020
研究了超薄Fe膜在可见光波段及红外波段的吸收率随薄膜厚度变化的关系.结果表明,金属薄膜吸收率具有尺寸效应,并具有极大值对比超薄Fe膜吸收率与其直流电导率的实验结果可知,结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因,
关键词:
超薄Fe膜
,
吸收率
,
尺寸效应
