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TFT-LCD器件Al电极TFT特性研究

张家祥 , 王彦强 , 卢凯 , 张文余 , 王凤涛 , 冀新友 , 王亮 , 张洁 , 王琪 , 刘琨 , 李良杰 , 李京鹏

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173206.0433

本文对Mo/Al/Mo作为TFT-LCD器件源/漏极的TFT特性进行了研究.与单层Mo相比,存在沟道界面粗糙,Ioff偏大问题,通过优化膜层结构,改善界面状态,得到了平整的沟道界面和良好的TFT特性.增加Bottom Mo的厚度,可以有效减少Al的渗透,防止Al-Si化合物的形成,得到界面平整的沟道;N+刻蚀后SF6处理对特性影响不大,增加刻蚀时间可以使Ion和Ioff同时降低;PVX沉积前处理气体N2+NH3与H2区别不大,都可以减少沟道缺陷,而增加H2处理时间会增强等离子的轰击作用,减少了沟道表面Al-Si化合物,但处理时间过长可能会使沟道缺陷增加;采用bottom Mo加厚,N+刻蚀以及PVX沉积前处理等最优条件,可以得到沟道界面良好,TFT特性与单层Mo相当的TFT器件.

关键词: 沟道界面 , 漏电流 , Al电极 , TFT特性

TFT-LCD器件氧化铟锡层无退火工艺研究

张家祥 , 卢凯 , 郭建 , 姜晓辉 , 崔玉琳 , 王亮 , 阎长江 , 曲连杰 , 陈旭

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20142901.0055

对TFT-LCD器件氧化铟锡(ITO)层无退火新工艺进行了深入研究,通过将氧化铟锡相变与聚酰亚胺(PI)膜固化过程同步进行,简化了工艺过程,节约了生产成本.采用无退火工艺氧化铟锡膜层的平均电阻值和膜层透过率与传统高温退火工艺下基本相同,可以实现低的电阻值和高的透过率.无退火工艺下PI膜表面平整均匀,氧化铟锡膜与PI膜界面结合良好,无鼓包、麻点等,也没有反应产物生成;经过TFT特性测试发现,无退火工艺比高温退火工艺条件下,无论暗态还是光照状态,开电流没有明显区别,漏电流可降低44%;通过无退火工艺和传统高温退火工艺制备的液晶显示屏的V-T特性相同.

关键词: 无退火工艺 , 透过率 , 氧化铟锡层 , TFT特性

模拟工业大气条件下高锰耐候钢的腐蚀行为

王博 , 卢凯 , 王建景 , 姜茂发 , 王德永 , 刘承军

中国腐蚀与防护学报

应用电化学阻抗谱研究了在模拟工业大气的腐蚀溶液中Mn对耐候钢耐腐蚀性能的影响,并通过锈层电子探针面扫描验证了实验结果.电化学阻抗谱结果显示,在腐蚀初期高锰耐候钢表现出较强的点蚀反应特征,腐蚀后期则显示和比对钢相同的耐腐蚀能力.在模拟工业大气腐蚀条件下,Mn在耐候钢的内锈层中没有产生富集,Cr和Cu在内锈层和钢基体界面中形成了富集带,这是保护性锈层生成的主要原因.

关键词: 耐候钢 , Mn , 电化学阻抗谱 , 保护性锈层 , 电子探针

激波在转炉炼钢中的应用

杨文远 , 邹节忠 , 王明林 , 卢凯

钢铁

激波是超音速气流中液体属性的不连续面,气流通过激波时速度下降,温度和压强升高.氧气转炉炼钢的氧气是通过拉瓦尔管以超音速射流状态吹人转炉.在氧枪喷头设计和制定供氧制度时要减小激波损失.在转炉的某些特殊吹炼工艺中要把激波控制在适当范围内,以取得良好的冶金效果.

关键词: 激波 , 射流 , 马赫数 , 超音速喷嘴

模拟工业大气条件下高锰耐候钢的腐蚀行为

王博 , 卢凯 , 王建景 , 姜茂发 , 王德永 , 刘承军

中国腐蚀与防护学报

应用电化学阻抗谱研究了在模拟工业大气的腐蚀溶液中Mn对耐候钢耐腐蚀性能的影响,并通过锈层电子探针面扫描验证了实验结果。电化学阻抗谱结果显示,在腐蚀初期高锰耐候钢表现出较强的点蚀反应特征,腐蚀后期则显示和比对钢相同的耐腐蚀能力。在模拟工业大气腐蚀条件下,Mn在耐候钢的内锈层中没有产生富集,Cr 和Cu在内锈层和钢基体界面中形成了富集带,这是保护性锈层生成的主要原因。

关键词: 耐候钢 , manganese , EIS , protective rust layer , EPMA

模拟工业大气条件下高锰耐候钢的腐蚀行为

王博 , 卢凯 , 王建景 , 姜茂发 , 王德永 , 刘承军

中国腐蚀与防护学报

应用电化学阻抗谱研究了在模拟工业大气的腐蚀溶液中Mn对耐候钢耐腐蚀性能的影响,并通过锈层电子探针面扫描验证了实验结果.电化学阻抗谱结果显示,在腐蚀初期高锰耐候钢表现出较强的点蚀反应特征,腐蚀后期则显示和比对钢相同的耐腐蚀能力.在模拟工业大气腐蚀条件下,Mn在耐候钢的内锈层中没有产生富集,Cr和Cu在内锈层和钢基体界面中形成了富集带,这是保护性锈层生成的主要原因.

关键词: 耐候钢 , Mn , 电化学阻抗谱 , 保护性锈层 , 电子探针

Co对高铝青铜摩擦磨损性能的影响

田国庆 , 路阳 , 卢凯 , 李文生

稀有金属材料与工程

在往复式磨损试验机上测定了不同Co元素质量分数的高铝青铜在干摩擦条件下的摩擦磨损行为.结果表明:Co元素可以有效促进合金基体中K相硬质点的生成,有效提高合金的硬度和耐磨性.在低速低载的摩擦条件下,随Co元素质量分数的增加,合金的磨损量先增加后减少,合金表现为典型的低应力擦伤式磨料磨损、氧化磨损和轻微的疲劳磨损.在中速中载的摩擦条件下,随着Co元素质量分数的增加,磨损量先减少后增加,合金的磨损表现为高应力磨料磨损和严重的氧化磨损、疲劳磨损.

关键词: 高铝青铜 , Co元素 , 磨粒磨损 , 疲劳磨损

聚合离子液体毛细管气相色谱固定相的性能评价

陈晓燕 , 卢凯 , 齐美玲 , 傅若农

色谱 doi:10.3321/j.issn:1000-8713.2009.06.003

离子液体作为毛细管气相色谱固定相的选择性和热稳定性是近年人们关注的课题.本文合成了 1-烯基-3-苄基咪唑-二(三氟甲基磺酰)亚胺盐(VBIm-NTf_2)离子液体并经毛细管柱内聚合制得了聚合离子液体PVBIm-NTf_2色谱柱.与VBIm-NTf_2色谱柱相比,PVBIm-NTf_2色谱柱具有良好的色谱选择性和热稳定性.PVBIm-NTf_2色谱柱对Grob试剂、醇混合物、酯混合物和苯系物等都表现了很好的分离能力,并且色谱峰峰形窄且对称.该聚合色谱柱在250 ℃下老化6 h后仍具有良好的分离能力和选择性.本文还测定了PVBIm-NTf_2的Abraham溶剂化参数,解析了该固定相与溶质间的相互作用,相关研究国内尚未见报道.研究表明,对常规离子液体进行柱内聚合是改善常规离子液体气相色谱固定相的热稳定性和选择性的有效途径.

关键词: 离子液体 , 聚合 , 毛细管气相色谱 , 固定相

两种高热稳定性端羟基单阳离子型咪唑离子液体毛细管气相色谱固定相的性能评价

卢凯 , 刘伟 , 齐美玲 , 李言 , 傅若农

色谱

采用静态法将合成的端羟基单阳离子咪唑离子液体1-(6-羟己基)-3-丁基咪唑二(三氟甲基)磺酰亚胺盐(HHBIM-NTf2)和1-(8-羟辛基)-3-丁基咪唑二(三氟甲基)磺酰亚胺盐(HOBIM-NTf2)作为固定相制备离子液体毛细管气相色谱柱.采用Grob试剂、混合醇样品和芳香族异构体混合物对固定相色谱选择性进行了考察,Grob试剂和混合醇组分产生的尖锐、对称的色谱峰形及异构体混合物组分达到基线分离的结果均表明端羟基离子液体固定相具有良好的色谱选择性.HHBIM-NTf2柱和HOBIM-NTf2柱经250 ℃老化8 h后对异构体混合物的分离能力没有明显下降,而HHBIM-NTf2柱经300 ℃老化后仍有理想的异构体选择性,表明端羟基离子液体固定相具有理想的热稳定性.本结果为进一步改善单阳离子型咪唑离子液体固定相的色谱性能提供了有效途径.

关键词: 毛细管气相色谱 , 端羟基离子液体 , 固定相

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