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氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜稳定性的研究进展

廖乃镘 , 李伟 , 蒋亚东 , 匡跃军 , 李世彬 , 吴志明

材料导报

氢化非晶硅(a-Si:H)是一种重要的光敏感薄膜材料,其稳定性的好坏是决定能否应用于器件的重要因素之一.介绍了a-Si:H薄膜稳定性的研究进展,论述了a-Si:H薄膜的稳定性与Si-Si弱键的关系,分析了先致衰退效应(S-W效应)产生的几种机理,提出了在薄膜制备和后处理过程中消除或减少Si-Si弱键以提高a-Si:H薄膜稳定性的方法.

关键词: 氢化非晶硅 , 稳定性 , 光致衰退效应 , 物理模型 , 稳定化处理