材料期刊网

1. 首页
2. 检索结果页

原词结果 | 译词结果

MOD制备的PZT薄膜的相结构发展和成分分析

包定华 , 吴小清 , 张良莹 , 姚熹

无机材料学报

采用MOD工艺制备了PZT薄膜，利用XRD和TEM研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程．制备在Pt／Ti／SiO₂／Si衬底上的PZT薄膜，其XRD分析显示焦绿石相在600℃完全转变为钙钛矿相；与之相比，Pt箔上无支持的PZT薄膜，其TBM分析表明PZT焦绿石相完全转变为钙钛矿相的温度更高，且与薄膜的厚度有关．XPS研究表明，薄膜表面含有化学吸附氧和污染碳，无其它杂质存在.表面富含少量Pb，其Zr／Ti比与化学计量比一致，但晶格中缺氧．

关键词: 锆钛酸铅薄膜 , null , null

MOD制备的PZT薄膜的相结构发展和成分分析

包定华 , 吴小清 , 张良莹 , 姚熹

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.01.020

采用MOD工艺制备了PZT薄膜, 利用XRD和TEM研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程. 制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的PZT薄膜, 其XRD分析显示焦绿石相在600℃完全转变为钙钛矿相; 与之相比, Pt箔上无支持的PZT薄膜, 其TEM分析表明PZT焦绿石相完全转变为钙钛矿相的温度更高, 且与薄膜的厚度有关. XPS研究表明, 薄膜表面含有化学吸附氧和污染碳, 无其它杂质存在. 表面富含少量Pb, 其Zr/Ti比与化学计量比一致, 但晶格中缺氧.

关键词: 锆钛酸铅薄膜 , 结构相变 , 成分分析

薄膜压电性能的测量方法

包定华 , 张良莹 , 姚熹

硅酸盐通报 doi:10.3969/j.issn.1001-1625.1999.03.005

压电薄膜在微传感器和微致动器方面的应用日益受到重视.薄膜压电性能的测量方法与体材相比有很大不同.本文介绍了几种测量薄膜压电特性的方法,包括:激光干涉仪法,扫描探针显微镜法,垂直加载法等,并比较了这些方法的优缺点.对已有的测量结果进行了简要分析.

关键词: 压电薄膜 , 压电性能 , 测量方法

出版年份

刊物分类

相关作者

相关热词