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离子辅助沉积掺铝氧化锌透明导电膜的研究

初国强 , 王子君 , 刘星元 , 王立军

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2001.02.009

报道了采用离子辅助电子枪蒸发技术制备优质氧化锌透明导电膜的工艺和结果， 分析了源掺杂， 镀膜气氛， 衬底温度等参数与膜的电导率及透光特性的关系， 作出了电阻率低达2×10-3Ω*cm， 厚为400nm的膜的方块电阻为1×103Ω/□， 可见光透过率大于80％的优质透明导电膜。 实验表明氧离子辅助蒸发可增加氧化锌分子的能量， 提高其迁移率， 显著提高薄膜的致密程度； 氧离子能使分解的锌原子充分氧化； 离子轰击可平滑薄膜表面。 总之， 氧离子辅助蒸发在较低温度下形成优质氧化锌透明导电膜中起关键作用

关键词: 氧化锌 , 透明导电膜 , 离子辅助蒸发 , 电子束蒸发 , 氧化物半导体